真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
4期
459-464
,共6页
吴忠振%田修波%王泽明%巩春志%杨士勤
吳忠振%田脩波%王澤明%鞏春誌%楊士勤
오충진%전수파%왕택명%공춘지%양사근
高功率脉冲磁控放电%等离子体离子注入与沉积%氮化铬%微观结构%表面性能
高功率脈遲磁控放電%等離子體離子註入與沉積%氮化鉻%微觀結構%錶麵性能
고공솔맥충자공방전%등리자체리자주입여침적%담화락%미관결구%표면성능
采用高功率脉冲磁控放电等离子体离子注入与沉积的方法在不锈钢基体上制备了高膜基结合力的CrN硬质薄膜,并研究了不同的Ar/N流量比对薄膜形貌、结构及性能的影响.采用扫描电子显微镜、X射线衍射对其表面形貌和结构进行分析,发现制备的薄膜表面光滑、致密,相结构单一,主要是CrN(200)相.对薄膜的结合力、硬度、弹性模量、耐磨性和耐腐蚀性的测试分析表明:薄膜与基体之间有很好的结合力,临界载荷最高可达68N,同时硬度、弹性模量、耐磨性及耐腐蚀性都有很大提高,其中硬度最高达到23.6 GPa,是基体硬度的4.7倍,摩擦系数为0.5左右,且磨痕较窄、较浅,腐蚀电位最高提高0.32 V,腐蚀电流下降1～2个数量级.
採用高功率脈遲磁控放電等離子體離子註入與沉積的方法在不鏽鋼基體上製備瞭高膜基結閤力的CrN硬質薄膜,併研究瞭不同的Ar/N流量比對薄膜形貌、結構及性能的影響.採用掃描電子顯微鏡、X射線衍射對其錶麵形貌和結構進行分析,髮現製備的薄膜錶麵光滑、緻密,相結構單一,主要是CrN(200)相.對薄膜的結閤力、硬度、彈性模量、耐磨性和耐腐蝕性的測試分析錶明:薄膜與基體之間有很好的結閤力,臨界載荷最高可達68N,同時硬度、彈性模量、耐磨性及耐腐蝕性都有很大提高,其中硬度最高達到23.6 GPa,是基體硬度的4.7倍,摩抆繫數為0.5左右,且磨痕較窄、較淺,腐蝕電位最高提高0.32 V,腐蝕電流下降1～2箇數量級.
채용고공솔맥충자공방전등리자체리자주입여침적적방법재불수강기체상제비료고막기결합력적CrN경질박막,병연구료불동적Ar/N류량비대박막형모、결구급성능적영향.채용소묘전자현미경、X사선연사대기표면형모화결구진행분석,발현제비적박막표면광활、치밀,상결구단일,주요시CrN(200)상.대박막적결합력、경도、탄성모량、내마성화내부식성적측시분석표명:박막여기체지간유흔호적결합력,림계재하최고가체68N,동시경도、탄성모량、내마성급내부식성도유흔대제고,기중경도최고체도23.6 GPa,시기체경도적4.7배,마찰계수위0.5좌우,차마흔교착、교천,부식전위최고제고0.32 V,부식전류하강1～2개수량급.
