金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2011年
5期
15-19
,共5页
侯雪%姜志刚%朱品文%郑艳彬%胡双%封全娇
侯雪%薑誌剛%硃品文%鄭豔彬%鬍雙%封全嬌
후설%강지강%주품문%정염빈%호쌍%봉전교
化学气相沉积%金刚石薄膜%氮气
化學氣相沉積%金剛石薄膜%氮氣
화학기상침적%금강석박막%담기
采用直流热阴极等离子体化学气相沉积方法,用甲烷、氢气、氮气的混合气体在Mo基底上成功制备了金刚石薄膜.分别采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)对不同流量氮气氛下生长金刚石薄膜的形貌、取向、质量进行了表征.结果表明:适量氮气的加入,不仅可以促进金刚石薄膜的生长速率,还可以促进金刚石(100)晶面的显现；随着氮气含量的增加,金刚石晶粒也逐渐细化,并且薄膜中非金刚石成分增加,但金刚石表面变得光滑平整.本工作有助于金刚石膜涂层领域的应用.
採用直流熱陰極等離子體化學氣相沉積方法,用甲烷、氫氣、氮氣的混閤氣體在Mo基底上成功製備瞭金剛石薄膜.分彆採用掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射儀(XRD)、拉曼光譜儀(Raman)對不同流量氮氣氛下生長金剛石薄膜的形貌、取嚮、質量進行瞭錶徵.結果錶明:適量氮氣的加入,不僅可以促進金剛石薄膜的生長速率,還可以促進金剛石(100)晶麵的顯現；隨著氮氣含量的增加,金剛石晶粒也逐漸細化,併且薄膜中非金剛石成分增加,但金剛石錶麵變得光滑平整.本工作有助于金剛石膜塗層領域的應用.
채용직류열음겁등리자체화학기상침적방법,용갑완、경기、담기적혼합기체재Mo기저상성공제비료금강석박막.분별채용소묘전자현미경(SEM)、X사선연사의(XRD)、랍만광보의(Raman)대불동류량담기분하생장금강석박막적형모、취향、질량진행료표정.결과표명:괄량담기적가입,불부가이촉진금강석박막적생장속솔,환가이촉진금강석(100)정면적현현；수착담기함량적증가,금강석정립야축점세화,병차박막중비금강석성분증가,단금강석표면변득광활평정.본공작유조우금강석막도층영역적응용.
