光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
7期
1469-1474
,共6页
王志斌%史国华%何益%丁志华%张雨东
王誌斌%史國華%何益%丁誌華%張雨東
왕지빈%사국화%하익%정지화%장우동
相干光学%光学相干层析成像%光学表面%间距测量
相榦光學%光學相榦層析成像%光學錶麵%間距測量
상간광학%광학상간층석성상%광학표면%간거측량
搭建了适于镜头中光学表面间距测量的实验装置,用于非接触高精度测量镜面间距.该装置以光纤型时域光学相干层析系统为基础,通过光学表面的层析成像精确测量其相对位置.对样品扫描装置进行了改进,利用高精度导轨移动光纤准直器来移动成像范围,实现对不同深度光学表面的层析成像.利用实验测量系统完成了对空气间隙样品及已装调好镜头的光学表面间距的测量,其中空气间隙样品的测量值为6.026mm,用游标卡尺得到的对比测量值为6.02mm;对镜头关键参数空气间隙的测量值为10.750mm,其设计值为(10.7±0.03)mm.实验系统误差为3.871μm,测量灵敏度为10.5μm.结果显示该方法具有非接触、高精度、高灵敏度的特点.
搭建瞭適于鏡頭中光學錶麵間距測量的實驗裝置,用于非接觸高精度測量鏡麵間距.該裝置以光纖型時域光學相榦層析繫統為基礎,通過光學錶麵的層析成像精確測量其相對位置.對樣品掃描裝置進行瞭改進,利用高精度導軌移動光纖準直器來移動成像範圍,實現對不同深度光學錶麵的層析成像.利用實驗測量繫統完成瞭對空氣間隙樣品及已裝調好鏡頭的光學錶麵間距的測量,其中空氣間隙樣品的測量值為6.026mm,用遊標卡呎得到的對比測量值為6.02mm;對鏡頭關鍵參數空氣間隙的測量值為10.750mm,其設計值為(10.7±0.03)mm.實驗繫統誤差為3.871μm,測量靈敏度為10.5μm.結果顯示該方法具有非接觸、高精度、高靈敏度的特點.
탑건료괄우경두중광학표면간거측량적실험장치,용우비접촉고정도측량경면간거.해장치이광섬형시역광학상간층석계통위기출,통과광학표면적층석성상정학측량기상대위치.대양품소묘장치진행료개진,이용고정도도궤이동광섬준직기래이동성상범위,실현대불동심도광학표면적층석성상.이용실험측량계통완성료대공기간극양품급이장조호경두적광학표면간거적측량,기중공기간극양품적측량치위6.026mm,용유표잡척득도적대비측량치위6.02mm;대경두관건삼수공기간극적측량치위10.750mm,기설계치위(10.7±0.03)mm.실험계통오차위3.871μm,측량령민도위10.5μm.결과현시해방법구유비접촉、고정도、고령민도적특점.
