材料科学与工程学报
材料科學與工程學報
재료과학여공정학보
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2003年
3期
353-355
,共3页
王晓泉%杨德仁%余学功%马向阳%阙端麟
王曉泉%楊德仁%餘學功%馬嚮暘%闕耑麟
왕효천%양덕인%여학공%마향양%궐단린
氢%退火%热施主%氮氧复合体%直拉单晶硅
氫%退火%熱施主%氮氧複閤體%直拉單晶硅
경%퇴화%열시주%담양복합체%직랍단정규
本文主要研究了在氢气下退火对掺氮直拉硅中热施主(TDs)和氮氧(N-O)复合体的影响.实验结果表明,在氢气下低温退火对热施主和N-O复合体的生成与在氩气下差不多.这说明低温氢退火注入到硅中的氢的量很少,不会对硅片的电阻率产生明显的影响.
本文主要研究瞭在氫氣下退火對摻氮直拉硅中熱施主(TDs)和氮氧(N-O)複閤體的影響.實驗結果錶明,在氫氣下低溫退火對熱施主和N-O複閤體的生成與在氬氣下差不多.這說明低溫氫退火註入到硅中的氫的量很少,不會對硅片的電阻率產生明顯的影響.
본문주요연구료재경기하퇴화대참담직랍규중열시주(TDs)화담양(N-O)복합체적영향.실험결과표명,재경기하저온퇴화대열시주화N-O복합체적생성여재아기하차불다.저설명저온경퇴화주입도규중적경적량흔소,불회대규편적전조솔산생명현적영향.
