传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
2177-2181,2185
,共6页
金桐%赵新%谭宜勇%孙广毅%卢桂章
金桐%趙新%譚宜勇%孫廣毅%盧桂章
금동%조신%담의용%손엄의%로계장
MEMS%电容式微加速度计%虚拟工艺
MEMS%電容式微加速度計%虛擬工藝
MEMS%전용식미가속도계%허의공예
微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流,本文在硅-玻璃阳极键合工艺同深槽刻蚀工艺相结合的加工技术基础之上设计了一种电容式微加速度计,该结构将两种改变平行板电容量的方式有效的结合在一起,提高了结构的灵敏度并具有较好的线性度.最后,对所设计的结构进行了工艺仿真,通过虚拟工艺仿真结果与设计进行比较,论证了结构的基本可行性.
微硅電容式加速度計是目前微硅加速度傳感器髮展的主流,本文在硅-玻璃暘極鍵閤工藝同深槽刻蝕工藝相結閤的加工技術基礎之上設計瞭一種電容式微加速度計,該結構將兩種改變平行闆電容量的方式有效的結閤在一起,提高瞭結構的靈敏度併具有較好的線性度.最後,對所設計的結構進行瞭工藝倣真,通過虛擬工藝倣真結果與設計進行比較,論證瞭結構的基本可行性.
미규전용식가속도계시목전미규가속도전감기발전적주류,본문재규-파리양겁건합공예동심조각식공예상결합적가공기술기출지상설계료일충전용식미가속도계,해결구장량충개변평행판전용량적방식유효적결합재일기,제고료결구적령민도병구유교호적선성도.최후,대소설계적결구진행료공예방진,통과허의공예방진결과여설계진행비교,론증료결구적기본가행성.
