光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2006年
11期
1605-1608
,共4页
衍射与光栅%光栅参量%正反入射%衍射效率之比%正单纯形法
衍射與光柵%光柵參量%正反入射%衍射效率之比%正單純形法
연사여광책%광책삼량%정반입사%연사효솔지비%정단순형법
提出利用同一波长的入射光在双面入射时两个能量之比的比值对光栅的参量进行测量,进一步提高准确度.首先从理论上比较正弦面形光栅在单一面入射及双面入射时各种衍射效率对光栅表面粗糙度的敏感程度;然后模拟测量出该正弦面型光栅在双面入射情况下的光栅参量;最后成功反演出体积相位全息光栅的三个参量,其测量结果为0.080μm,1.452 μm,20.5μm准确度比单一入射面情况(0.080 μm,1.451 μm,20.1 μm)时要高.同时该法继承了原来方法的无损伤、操作简便、可重复、易推广、成本低等优点.
提齣利用同一波長的入射光在雙麵入射時兩箇能量之比的比值對光柵的參量進行測量,進一步提高準確度.首先從理論上比較正絃麵形光柵在單一麵入射及雙麵入射時各種衍射效率對光柵錶麵粗糙度的敏感程度;然後模擬測量齣該正絃麵型光柵在雙麵入射情況下的光柵參量;最後成功反縯齣體積相位全息光柵的三箇參量,其測量結果為0.080μm,1.452 μm,20.5μm準確度比單一入射麵情況(0.080 μm,1.451 μm,20.1 μm)時要高.同時該法繼承瞭原來方法的無損傷、操作簡便、可重複、易推廣、成本低等優點.
제출이용동일파장적입사광재쌍면입사시량개능량지비적비치대광책적삼량진행측량,진일보제고준학도.수선종이론상비교정현면형광책재단일면입사급쌍면입사시각충연사효솔대광책표면조조도적민감정도;연후모의측량출해정현면형광책재쌍면입사정황하적광책삼량;최후성공반연출체적상위전식광책적삼개삼량,기측량결과위0.080μm,1.452 μm,20.5μm준학도비단일입사면정황(0.080 μm,1.451 μm,20.1 μm)시요고.동시해법계승료원래방법적무손상、조작간편、가중복、역추엄、성본저등우점.
