核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2007年
4期
314-317
,共4页
周丽宏%张崇宏%杨义涛%宋银%姚存峰
週麗宏%張崇宏%楊義濤%宋銀%姚存峰
주려굉%장숭굉%양의도%송은%요존봉
离子注入%辐照%4H-SiC%FTIR%Raman谱%退火
離子註入%輻照%4H-SiC%FTIR%Raman譜%退火
리자주입%복조%4H-SiC%FTIR%Raman보%퇴화
分析了高能pb27+辐照预注入12C+的和未预注入12C+4H-SiC样品在,退火前后傅立叶变换红外光谱和拉曼散射光谱的变化.从傅立叶变换红外光谱可以知道,900℃以上的退火使损伤层发生显著恢复;在拉曼散射光谱中可以看到1200℃退火后有石墨相的存在.实验结果说明,高温退火有利于损伤的恢复,使注入到碳化硅中的碳原子发生聚集并引起相变.
分析瞭高能pb27+輻照預註入12C+的和未預註入12C+4H-SiC樣品在,退火前後傅立葉變換紅外光譜和拉曼散射光譜的變化.從傅立葉變換紅外光譜可以知道,900℃以上的退火使損傷層髮生顯著恢複;在拉曼散射光譜中可以看到1200℃退火後有石墨相的存在.實驗結果說明,高溫退火有利于損傷的恢複,使註入到碳化硅中的碳原子髮生聚集併引起相變.
분석료고능pb27+복조예주입12C+적화미예주입12C+4H-SiC양품재,퇴화전후부립협변환홍외광보화랍만산사광보적변화.종부립협변환홍외광보가이지도,900℃이상적퇴화사손상층발생현저회복;재랍만산사광보중가이간도1200℃퇴화후유석묵상적존재.실험결과설명,고온퇴화유리우손상적회복,사주입도탄화규중적탄원자발생취집병인기상변.
