机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2007年
3期
118-122
,共5页
孙方宏%张志明%沈荷生%陈明%郭松寿
孫方宏%張誌明%瀋荷生%陳明%郭鬆壽
손방굉%장지명%침하생%진명%곽송수
纳米金刚石薄膜%硬质合金%表面粗糙度%复合涂层
納米金剛石薄膜%硬質閤金%錶麵粗糙度%複閤塗層
납미금강석박막%경질합금%표면조조도%복합도층
采用偏压辅助增强热丝化学气相沉积法(Chemical vapor deposition,CVD),以WC-Co硬质合金为衬底,采用控制沉积参数和添加惰性气体Ar等CVD新工艺,制备性能优良的纳米金刚石薄膜.进一步采用扫描电镜(Scanning electron microscopy,SEM)、原子力显微镜(Atomic force microscopy,AFM)、拉曼光谱(Raman spectroscopy)、X射线衍射(X-ray diffraction,XRD)和高分辨率透射电镜(High-resolution transmission electron microscopy,HR-TEM)分析了薄膜的纳米效应.研究结果表明:纳米涂层仍然是以金刚石结构为主的多晶体,它晶体颗粒较小(20～80 nm),含有较多的晶界和sp2结构,涂层表面粗糙度Ra≤50 nm,表面平整光滑,有利于研磨抛光.在此基础上,提出纳米金刚石复合涂层制备新技术,开发研制出各种涂层拉拔模具,在实际生产线上进行了应用,取得了显著的效果.
採用偏壓輔助增彊熱絲化學氣相沉積法(Chemical vapor deposition,CVD),以WC-Co硬質閤金為襯底,採用控製沉積參數和添加惰性氣體Ar等CVD新工藝,製備性能優良的納米金剛石薄膜.進一步採用掃描電鏡(Scanning electron microscopy,SEM)、原子力顯微鏡(Atomic force microscopy,AFM)、拉曼光譜(Raman spectroscopy)、X射線衍射(X-ray diffraction,XRD)和高分辨率透射電鏡(High-resolution transmission electron microscopy,HR-TEM)分析瞭薄膜的納米效應.研究結果錶明:納米塗層仍然是以金剛石結構為主的多晶體,它晶體顆粒較小(20～80 nm),含有較多的晶界和sp2結構,塗層錶麵粗糙度Ra≤50 nm,錶麵平整光滑,有利于研磨拋光.在此基礎上,提齣納米金剛石複閤塗層製備新技術,開髮研製齣各種塗層拉拔模具,在實際生產線上進行瞭應用,取得瞭顯著的效果.
채용편압보조증강열사화학기상침적법(Chemical vapor deposition,CVD),이WC-Co경질합금위츤저,채용공제침적삼수화첨가타성기체Ar등CVD신공예,제비성능우량적납미금강석박막.진일보채용소묘전경(Scanning electron microscopy,SEM)、원자력현미경(Atomic force microscopy,AFM)、랍만광보(Raman spectroscopy)、X사선연사(X-ray diffraction,XRD)화고분변솔투사전경(High-resolution transmission electron microscopy,HR-TEM)분석료박막적납미효응.연구결과표명:납미도층잉연시이금강석결구위주적다정체,타정체과립교소(20～80 nm),함유교다적정계화sp2결구,도층표면조조도Ra≤50 nm,표면평정광활,유리우연마포광.재차기출상,제출납미금강석복합도층제비신기술,개발연제출각충도층랍발모구,재실제생산선상진행료응용,취득료현저적효과.
