中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2008年
1期
80-84,98
,共6页
徐景辉%苑伟政%谢建兵%常洪龙
徐景輝%苑偉政%謝建兵%常洪龍
서경휘%원위정%사건병%상홍룡
MEMS CAD%三维实体%版图%接口
MEMS CAD%三維實體%版圖%接口
MEMS CAD%삼유실체%판도%접구
研究了标准三维实体文件和版图文件的格式,在此基础上提出了一种在MEMS CAD中从三维实体到工艺版图的转换方法,实现了直接基于文件到文件的三维实体到工艺版图的转换,使用C+ +语言开发了相应的转换接口.通过典型MEMS器件--微机械加速度计和微机械陀螺的多种结构,验证了三维实体到二维版图转换的可行性与效率.结果表明,这种转换方法切实可行,且效率较高,为实现MEMS自顶向下与基于任意流程的设计方法、简化版图绘制、提高设计效率提供了一种有效的途径.
研究瞭標準三維實體文件和版圖文件的格式,在此基礎上提齣瞭一種在MEMS CAD中從三維實體到工藝版圖的轉換方法,實現瞭直接基于文件到文件的三維實體到工藝版圖的轉換,使用C+ +語言開髮瞭相應的轉換接口.通過典型MEMS器件--微機械加速度計和微機械陀螺的多種結構,驗證瞭三維實體到二維版圖轉換的可行性與效率.結果錶明,這種轉換方法切實可行,且效率較高,為實現MEMS自頂嚮下與基于任意流程的設計方法、簡化版圖繪製、提高設計效率提供瞭一種有效的途徑.
연구료표준삼유실체문건화판도문건적격식,재차기출상제출료일충재MEMS CAD중종삼유실체도공예판도적전환방법,실현료직접기우문건도문건적삼유실체도공예판도적전환,사용C+ +어언개발료상응적전환접구.통과전형MEMS기건--미궤계가속도계화미궤계타라적다충결구,험증료삼유실체도이유판도전환적가행성여효솔.결과표명,저충전환방법절실가행,차효솔교고,위실현MEMS자정향하여기우임의류정적설계방법、간화판도회제、제고설계효솔제공료일충유효적도경.