真空
真空
진공
VACUUM
2008年
1期
48-50
,共3页
吕博嘉%刘艳红%刘东平%刘爱民%刘韶华%马腾才
呂博嘉%劉豔紅%劉東平%劉愛民%劉韶華%馬騰纔
려박가%류염홍%류동평%류애민%류소화%마등재
热丝化学气相沉积%微晶硅薄膜%光学带隙
熱絲化學氣相沉積%微晶硅薄膜%光學帶隙
열사화학기상침적%미정규박막%광학대극
采用热丝化学气相沉积技术制备微晶硅薄膜,利用X射线衍射谱、Raman散射谱、透射光谱和扫描电子显微镜等检测手段,系统地研究沉积过程中沉积气压对微晶硅薄膜晶粒尺寸、晶态比和光学带隙的影响,运用Tacu法则对薄膜的透射率和厚度进行计算分析,得到薄膜光学带隙与沉积气压之间的关系,结果表明薄膜的光学带隙随着沉积气压的升高而单调下降.
採用熱絲化學氣相沉積技術製備微晶硅薄膜,利用X射線衍射譜、Raman散射譜、透射光譜和掃描電子顯微鏡等檢測手段,繫統地研究沉積過程中沉積氣壓對微晶硅薄膜晶粒呎吋、晶態比和光學帶隙的影響,運用Tacu法則對薄膜的透射率和厚度進行計算分析,得到薄膜光學帶隙與沉積氣壓之間的關繫,結果錶明薄膜的光學帶隙隨著沉積氣壓的升高而單調下降.
채용열사화학기상침적기술제비미정규박막,이용X사선연사보、Raman산사보、투사광보화소묘전자현미경등검측수단,계통지연구침적과정중침적기압대미정규박막정립척촌、정태비화광학대극적영향,운용Tacu법칙대박막적투사솔화후도진행계산분석,득도박막광학대극여침적기압지간적관계,결과표명박막적광학대극수착침적기압적승고이단조하강.
