材料保护
材料保護
재료보호
MATERIALS PROTECTION
2009年
6期
29-31
,共3页
郑小秋%吴卫%易荣喜%万建新%龙岸文
鄭小鞦%吳衛%易榮喜%萬建新%龍岸文
정소추%오위%역영희%만건신%룡안문
磁控溅射%Cu'Al薄膜%附着强度%cd基底%正交试验
磁控濺射%Cu'Al薄膜%附著彊度%cd基底%正交試驗
자공천사%Cu'Al박막%부착강도%cd기저%정교시험
为了探讨Gd表面溅射保护膜的附着性能,利用直流磁控溅射技术在Gd基体上分别镀Cu和Al膜.用扫描电镜(SEM)和能谱仪对薄膜进行表征,用引拉法测定了薄膜的附着强度.结果表明:A1膜表面质量好,Al/Gd界面结合好,附着强度高,在优化工艺参数条件下薄膜附着强度可达到27.60 MPa;Cu膜表面质量较差,Cu/Gd界面结合差,附着强度低,在优化工艺参数条件下薄膜附着强度最高仅为3.02 MPa.
為瞭探討Gd錶麵濺射保護膜的附著性能,利用直流磁控濺射技術在Gd基體上分彆鍍Cu和Al膜.用掃描電鏡(SEM)和能譜儀對薄膜進行錶徵,用引拉法測定瞭薄膜的附著彊度.結果錶明:A1膜錶麵質量好,Al/Gd界麵結閤好,附著彊度高,在優化工藝參數條件下薄膜附著彊度可達到27.60 MPa;Cu膜錶麵質量較差,Cu/Gd界麵結閤差,附著彊度低,在優化工藝參數條件下薄膜附著彊度最高僅為3.02 MPa.
위료탐토Gd표면천사보호막적부착성능,이용직류자공천사기술재Gd기체상분별도Cu화Al막.용소묘전경(SEM)화능보의대박막진행표정,용인랍법측정료박막적부착강도.결과표명:A1막표면질량호,Al/Gd계면결합호,부착강도고,재우화공예삼수조건하박막부착강도가체도27.60 MPa;Cu막표면질량교차,Cu/Gd계면결합차,부착강도저,재우화공예삼수조건하박막부착강도최고부위3.02 MPa.
