半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2010年
10期
994-998
,共5页
柯曾鹏%杨志国%刘欣%宗文婷
柯曾鵬%楊誌國%劉訢%宗文婷
가증붕%양지국%류흔%종문정
多晶硅%还原炉%硅芯%沉积过程%倒棒
多晶硅%還原爐%硅芯%沉積過程%倒棒
다정규%환원로%규심%침적과정%도봉
多晶硅生产过程中的倒棒现象将给多晶硅生产企业带来巨大的经济损失和安全风险.通过对多晶硅生产中还原炉倒棒现象的总结分析,发现还原炉系统设备自身问题、硅芯质量及安装缺陷和硅棒生长中的工艺控制不当是造成还原炉发生倒棒的主要原因,通过优化还原系统设备、提高安装操作水平等措施控制和预防还原炉的倒棒问题.
多晶硅生產過程中的倒棒現象將給多晶硅生產企業帶來巨大的經濟損失和安全風險.通過對多晶硅生產中還原爐倒棒現象的總結分析,髮現還原爐繫統設備自身問題、硅芯質量及安裝缺陷和硅棒生長中的工藝控製不噹是造成還原爐髮生倒棒的主要原因,通過優化還原繫統設備、提高安裝操作水平等措施控製和預防還原爐的倒棒問題.
다정규생산과정중적도봉현상장급다정규생산기업대래거대적경제손실화안전풍험.통과대다정규생산중환원로도봉현상적총결분석,발현환원로계통설비자신문제、규심질량급안장결함화규봉생장중적공예공제불당시조성환원로발생도봉적주요원인,통과우화환원계통설비、제고안장조작수평등조시공제화예방환원로적도봉문제.
