天津师范大学学报（自然科学版）
天津師範大學學報（自然科學版）
천진사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TIANJIN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2011年
2期
42-45
,共4页
磁控溅射%TiB2/TiAlN纳米多层膜%调制比%硬度
磁控濺射%TiB2/TiAlN納米多層膜%調製比%硬度
자공천사%TiB2/TiAlN납미다층막%조제비%경도
利用射频磁控溅射技术在室温下合成了具有纳米调制周期的TiB2/TiAlN多层膜.分别采用X射线衍射仪(XRD)、表面轮廓仪、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪分析了调制比对TiB2/TiAlN纳米多层膜结构和机械性能的影响.结果表明:大部分多层膜的纳米硬度和弹性模量值均高于两种个体材料混合相的值,在调制比为t TiB2∶tTiAlN=5∶2时,多层膜体系的硬度超过36 GPa,其他机械性能也达到较佳效果.
利用射頻磁控濺射技術在室溫下閤成瞭具有納米調製週期的TiB2/TiAlN多層膜.分彆採用X射線衍射儀(XRD)、錶麵輪廓儀、納米力學測試繫統和多功能材料錶麵性能實驗儀分析瞭調製比對TiB2/TiAlN納米多層膜結構和機械性能的影響.結果錶明:大部分多層膜的納米硬度和彈性模量值均高于兩種箇體材料混閤相的值,在調製比為t TiB2∶tTiAlN=5∶2時,多層膜體繫的硬度超過36 GPa,其他機械性能也達到較佳效果.
이용사빈자공천사기술재실온하합성료구유납미조제주기적TiB2/TiAlN다층막.분별채용X사선연사의(XRD)、표면륜곽의、납미역학측시계통화다공능재료표면성능실험의분석료조제비대TiB2/TiAlN납미다층막결구화궤계성능적영향.결과표명:대부분다층막적납미경도화탄성모량치균고우량충개체재료혼합상적치,재조제비위t TiB2∶tTiAlN=5∶2시,다층막체계적경도초과36 GPa,기타궤계성능야체도교가효과.
