传感器世界
傳感器世界
전감기세계
SENSOR WORLD
2012年
2期
14-17,13
,共5页
微机电系统%压阻式压力传感器%弹性膜%灵敏度%线性度
微機電繫統%壓阻式壓力傳感器%彈性膜%靈敏度%線性度
미궤전계통%압조식압력전감기%탄성막%령민도%선성도
微压力传感器是微机电领域最早开始研究并且实用化的器件之一,它结构简单、用途广泛.本文介绍了基于压阻效应及惠斯顿电桥的压阻式压力传感器.介绍了膜的面积、厚度、电阻形状和位置等参数对压阻式压力传感器的灵敏度和线性度的影响.
微壓力傳感器是微機電領域最早開始研究併且實用化的器件之一,它結構簡單、用途廣汎.本文介紹瞭基于壓阻效應及惠斯頓電橋的壓阻式壓力傳感器.介紹瞭膜的麵積、厚度、電阻形狀和位置等參數對壓阻式壓力傳感器的靈敏度和線性度的影響.
미압력전감기시미궤전영역최조개시연구병차실용화적기건지일,타결구간단、용도엄범.본문개소료기우압조효응급혜사돈전교적압조식압력전감기.개소료막적면적、후도、전조형상화위치등삼수대압조식압력전감기적령민도화선성도적영향.
