光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2012年
5期
89-94
,共6页
曹一鸣%卫红%王小辉%唐振方
曹一鳴%衛紅%王小輝%唐振方
조일명%위홍%왕소휘%당진방
低折射率%SiO2薄膜%斜角蒸镀工艺
低摺射率%SiO2薄膜%斜角蒸鍍工藝
저절사솔%SiO2박막%사각증도공예
利用斜角蒸镀工艺镀制SiO2薄膜是获得低折射率薄膜的一个有效方法.通过电子束蒸发镀膜方式,利用自制的斜角蒸镀装置,研究了SiO2材料在斜角蒸镀工艺中薄膜倾斜角度与沉积角度的关系,薄膜沉积厚度与设定厚度的关系,薄膜折射率与沉积角度的关系.实验表明利用斜角蒸镀工艺镀制低折射率薄膜是可行的.实验得到了折射率为1.10的SiO2薄膜,并得到了重要的SiO2的折射率与沉积角度关系曲线.
利用斜角蒸鍍工藝鍍製SiO2薄膜是穫得低摺射率薄膜的一箇有效方法.通過電子束蒸髮鍍膜方式,利用自製的斜角蒸鍍裝置,研究瞭SiO2材料在斜角蒸鍍工藝中薄膜傾斜角度與沉積角度的關繫,薄膜沉積厚度與設定厚度的關繫,薄膜摺射率與沉積角度的關繫.實驗錶明利用斜角蒸鍍工藝鍍製低摺射率薄膜是可行的.實驗得到瞭摺射率為1.10的SiO2薄膜,併得到瞭重要的SiO2的摺射率與沉積角度關繫麯線.
이용사각증도공예도제SiO2박막시획득저절사솔박막적일개유효방법.통과전자속증발도막방식,이용자제적사각증도장치,연구료SiO2재료재사각증도공예중박막경사각도여침적각도적관계,박막침적후도여설정후도적관계,박막절사솔여침적각도적관계.실험표명이용사각증도공예도제저절사솔박막시가행적.실험득도료절사솔위1.10적SiO2박막,병득도료중요적SiO2적절사솔여침적각도관계곡선.
