应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2012年
4期
761-765
,共5页
曲率半径测量%三维轮廓扫描%重复性标准差%最小二乘拟合
麯率半徑測量%三維輪廓掃描%重複性標準差%最小二乘擬閤
곡솔반경측량%삼유륜곽소묘%중복성표준차%최소이승의합
三维轮廓扫描方法可通过连续扫描透镜表面三维空间形貌,拟合得到其曲率半径值.该方法具有测量精度高、可任意选定测量区域、测量力微弱、对光学表面划伤可忽略等优点.通过实验,研究了三维轮廓扫描法测量透镜曲率半径的精度,并分析了测量区域大小、扫描间距等因素对测量精度的影响.实验结果表明,该方法测量凸、凹球面透镜的曲率半径的相对重复性可达到1×10-6.
三維輪廓掃描方法可通過連續掃描透鏡錶麵三維空間形貌,擬閤得到其麯率半徑值.該方法具有測量精度高、可任意選定測量區域、測量力微弱、對光學錶麵劃傷可忽略等優點.通過實驗,研究瞭三維輪廓掃描法測量透鏡麯率半徑的精度,併分析瞭測量區域大小、掃描間距等因素對測量精度的影響.實驗結果錶明,該方法測量凸、凹毬麵透鏡的麯率半徑的相對重複性可達到1×10-6.
삼유륜곽소묘방법가통과련속소묘투경표면삼유공간형모,의합득도기곡솔반경치.해방법구유측량정도고、가임의선정측량구역、측량력미약、대광학표면화상가홀략등우점.통과실험,연구료삼유륜곽소묘법측량투경곡솔반경적정도,병분석료측량구역대소、소묘간거등인소대측량정도적영향.실험결과표명,해방법측량철、요구면투경적곡솔반경적상대중복성가체도1×10-6.
