电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2002年
4期
411-415
,共5页
聚焦离子束(FIB)%液态金属离子源(LMIS)%静电透镜%空间电荷效应
聚焦離子束(FIB)%液態金屬離子源(LMIS)%靜電透鏡%空間電荷效應
취초리자속(FIB)%액태금속리자원(LMIS)%정전투경%공간전하효응
本文简要讨论了聚焦离子束中的离子光学问题,包括液态金属离子源的发射机制和发射特性,如虚源、角电流强度、能量分散、伏安特性、束流起伏、聚焦限制、离子束中的化学成分及源的寿命.讨论了离子光学柱体的组成与特征,束流一束径关系,束中电流密度分布,以及空间电荷效应等.回顾了静电透镜的历史以及它在离子光学系统中的重要意义.
本文簡要討論瞭聚焦離子束中的離子光學問題,包括液態金屬離子源的髮射機製和髮射特性,如虛源、角電流彊度、能量分散、伏安特性、束流起伏、聚焦限製、離子束中的化學成分及源的壽命.討論瞭離子光學柱體的組成與特徵,束流一束徑關繫,束中電流密度分佈,以及空間電荷效應等.迴顧瞭靜電透鏡的歷史以及它在離子光學繫統中的重要意義.
본문간요토론료취초리자속중적리자광학문제,포괄액태금속리자원적발사궤제화발사특성,여허원、각전류강도、능량분산、복안특성、속류기복、취초한제、리자속중적화학성분급원적수명.토론료리자광학주체적조성여특정,속류일속경관계,속중전류밀도분포,이급공간전하효응등.회고료정전투경적역사이급타재리자광학계통중적중요의의.
