无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2006年
1期
41-45
,共5页
王勇%沃银花%姚奎鸿%祝洪良%王耐艳
王勇%沃銀花%姚奎鴻%祝洪良%王耐豔
왕용%옥은화%요규홍%축홍량%왕내염
氮化硅(SiN)%硅烷%流态床%化学气相沉积(CVD)
氮化硅(SiN)%硅烷%流態床%化學氣相沉積(CVD)
담화규(SiN)%규완%류태상%화학기상침적(CVD)
采用硅烷和氨气在立式双温区流态床中化学气相沉积,制备了形状规则的球状无定形氮化硅纳米粉体,并利用X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)和傅立叶红外(FTIR)研究了该纳米粉体的形貌、成分和物相.讨论了该流态床法制备纳米氮化硅的关键因素,并得到流态床中制备氮化硅纳米粉体的优化工艺参数.
採用硅烷和氨氣在立式雙溫區流態床中化學氣相沉積,製備瞭形狀規則的毬狀無定形氮化硅納米粉體,併利用X射線衍射(XRD)、透射電鏡(TEM)和傅立葉紅外(FTIR)研究瞭該納米粉體的形貌、成分和物相.討論瞭該流態床法製備納米氮化硅的關鍵因素,併得到流態床中製備氮化硅納米粉體的優化工藝參數.
채용규완화안기재입식쌍온구류태상중화학기상침적,제비료형상규칙적구상무정형담화규납미분체,병이용X사선연사(XRD)、투사전경(TEM)화부립협홍외(FTIR)연구료해납미분체적형모、성분화물상.토론료해류태상법제비납미담화규적관건인소,병득도류태상중제비담화규납미분체적우화공예삼수.
