CAJ | 학술논문

运用离子束辅助沉积技术在不同的离子束入射角(0°,15°,30°,45°,60°,75°)下,制备了的FexCr1-x合金薄膜(x=50,67),并对其微结构和磁性进行了研究.在两组不同成分的薄膜中,均发现仅在入射角为45°时,垂直于膜面的方向上出现了(002)择优取向,且伴随着膜面的平面磁各向异性,而在其他角度的情况下,无择优取向及平面磁各向异性获得.根据择优取向的形成机制,斜入射的离子束在沉积过程中起到了混合及沟道效应的作用.
운용리자속보조침적기술재불동적리자속입사각(0°,15°,30°,45°,60°,75°)하,제비료적FexCr1-x합금박막(x=50,67),병대기미결구화자성진행료연구.재량조불동성분적박막중,균발현부재입사각위45°시,수직우막면적방향상출현료(002)택우취향,차반수착막면적평면자각향이성,이재기타각도적정황하,무택우취향급평면자각향이성획득.근거택우취향적형성궤제,사입사적리자속재침적과정중기도료혼합급구도효응적작용.