实验技术与管理
實驗技術與管理
실험기술여관리
EXPERIMENTAL TECHNOLOGY AND MANAGEMENT
2007年
9期
32-34
,共3页
高宇%顾滨兵%侯长民%黄科科%高忠民%李向山
高宇%顧濱兵%侯長民%黃科科%高忠民%李嚮山
고우%고빈병%후장민%황과과%고충민%리향산
ZnO外延膜%晶体取向%织构极图%极点密度%极点密度%分布半高宽
ZnO外延膜%晶體取嚮%織構極圖%極點密度%極點密度%分佈半高寬
ZnO외연막%정체취향%직구겁도%겁점밀도%겁점밀도%분포반고관
用MOCVD法在蓝宝石衬底上生长ZnO外延膜.用理学D/max 2550转靶衍射仪测量ZnO外延膜织构.观察到试样存在2种晶体取向关系:ZnO[11-20]//Al2O3[10-10]及gnO[10-10]//Al2O3[10-10].计算得到晶格取向极点分布平均半高宽为12.26°,且前一种取向晶体的数量是后者的13倍.探讨了2种取向的热力学稳定性.给出了外延膜取向特性的逐层分析结果.
用MOCVD法在藍寶石襯底上生長ZnO外延膜.用理學D/max 2550轉靶衍射儀測量ZnO外延膜織構.觀察到試樣存在2種晶體取嚮關繫:ZnO[11-20]//Al2O3[10-10]及gnO[10-10]//Al2O3[10-10].計算得到晶格取嚮極點分佈平均半高寬為12.26°,且前一種取嚮晶體的數量是後者的13倍.探討瞭2種取嚮的熱力學穩定性.給齣瞭外延膜取嚮特性的逐層分析結果.
용MOCVD법재람보석츤저상생장ZnO외연막.용이학D/max 2550전파연사의측량ZnO외연막직구.관찰도시양존재2충정체취향관계:ZnO[11-20]//Al2O3[10-10]급gnO[10-10]//Al2O3[10-10].계산득도정격취향겁점분포평균반고관위12.26°,차전일충취향정체적수량시후자적13배.탐토료2충취향적열역학은정성.급출료외연막취향특성적축층분석결과.
