光电技术应用
光電技術應用
광전기술응용
ELECTRO-OPTIC WARFARE & RADAR PASSIVE COUNTERMEASURES
2007年
4期
77-80
,共4页
池晓金%乐孜纯%张明%魏坚洲%童骏
池曉金%樂孜純%張明%魏堅洲%童駿
지효금%악자순%장명%위견주%동준
AOTF%光刻工艺%匀胶%曝光%显影
AOTF%光刻工藝%勻膠%曝光%顯影
AOTF%광각공예%균효%폭광%현영
对在LiNbO3晶体基片上制作声光可调谐滤波器(AOTF)光刻工艺参数的确定进行了研究.着重研究了匀胶机转速、曝光时间和显影时间对光刻效果的影响.通过大量的实验得到了较好的光刻工艺参数,即在低速2850/8(rpm/s)和高速6000/25(rpm/s)的转速下取得较均匀的光刻胶后,在90℃下前烘30 min,再经过10 s曝光和10 s显影,最后再经过30 min的100℃后烘,可得到较好的光刻图样.经过显微镜观察,光刻好的图形表面洁净,侧壁陡直光滑,图形质量较好.
對在LiNbO3晶體基片上製作聲光可調諧濾波器(AOTF)光刻工藝參數的確定進行瞭研究.著重研究瞭勻膠機轉速、曝光時間和顯影時間對光刻效果的影響.通過大量的實驗得到瞭較好的光刻工藝參數,即在低速2850/8(rpm/s)和高速6000/25(rpm/s)的轉速下取得較均勻的光刻膠後,在90℃下前烘30 min,再經過10 s曝光和10 s顯影,最後再經過30 min的100℃後烘,可得到較好的光刻圖樣.經過顯微鏡觀察,光刻好的圖形錶麵潔淨,側壁陡直光滑,圖形質量較好.
대재LiNbO3정체기편상제작성광가조해려파기(AOTF)광각공예삼수적학정진행료연구.착중연구료균효궤전속、폭광시간화현영시간대광각효과적영향.통과대량적실험득도료교호적광각공예삼수,즉재저속2850/8(rpm/s)화고속6000/25(rpm/s)적전속하취득교균균적광각효후,재90℃하전홍30 min,재경과10 s폭광화10 s현영,최후재경과30 min적100℃후홍,가득도교호적광각도양.경과현미경관찰,광각호적도형표면길정,측벽두직광활,도형질량교호.
