强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2007年
12期
2087-2090
,共4页
王聪娟%晋云霞%邵建达%范正修
王聰娟%晉雲霞%邵建達%範正脩
왕총연%진운하%소건체%범정수
薄膜%氧化铪%离子束辅助%反应沉积
薄膜%氧化鉿%離子束輔助%反應沉積
박막%양화협%리자속보조%반응침적
采用电子束直接蒸发氧化铪、无辅助电子束反应蒸发和离子束辅助反应蒸发金属铪3种沉积方式制备了单层HfO2薄膜,对样品的光学性能、结构特性以及激光损伤特性进行了研究.实验结果表明:通过反应沉积的方法可以有效减少缺陷产生并改善均匀性,施加离子辅助可以提高薄膜的折射率,在一定条件下还可以有效地降低吸收,但激光损伤阈值仍未达到直接采用氧化铪制备的水平;晶体结构方面,离子辅助条件下可以获得单斜相氧化铪薄膜,并且随着轰击能量的提高由(002)面的择优取向向(-111)面转变.
採用電子束直接蒸髮氧化鉿、無輔助電子束反應蒸髮和離子束輔助反應蒸髮金屬鉿3種沉積方式製備瞭單層HfO2薄膜,對樣品的光學性能、結構特性以及激光損傷特性進行瞭研究.實驗結果錶明:通過反應沉積的方法可以有效減少缺陷產生併改善均勻性,施加離子輔助可以提高薄膜的摺射率,在一定條件下還可以有效地降低吸收,但激光損傷閾值仍未達到直接採用氧化鉿製備的水平;晶體結構方麵,離子輔助條件下可以穫得單斜相氧化鉿薄膜,併且隨著轟擊能量的提高由(002)麵的擇優取嚮嚮(-111)麵轉變.
채용전자속직접증발양화협、무보조전자속반응증발화리자속보조반응증발금속협3충침적방식제비료단층HfO2박막,대양품적광학성능、결구특성이급격광손상특성진행료연구.실험결과표명:통과반응침적적방법가이유효감소결함산생병개선균균성,시가리자보조가이제고박막적절사솔,재일정조건하환가이유효지강저흡수,단격광손상역치잉미체도직접채용양화협제비적수평;정체결구방면,리자보조조건하가이획득단사상양화협박막,병차수착굉격능량적제고유(002)면적택우취향향(-111)면전변.
