浙江大学学报（工学版）
浙江大學學報（工學版）
절강대학학보（공학판）
JOURNAL OF ZHEJIANG UNIVERSITY(ENGINEERING SCIENCE)
2008年
2期
286-289,320
,共5页
胡卫军%李毅%邹绍芳%王平%Andrey Legin
鬍衛軍%李毅%鄒紹芳%王平%Andrey Legin
호위군%리의%추소방%왕평%Andrey Legin
镉离子敏感薄膜传感器%光寻址电位传感器%硫属玻璃%脉冲激光沉积
鎘離子敏感薄膜傳感器%光尋阯電位傳感器%硫屬玻璃%脈遲激光沉積
력리자민감박막전감기%광심지전위전감기%류속파리%맥충격광침적
采用用于镉离子选择电极的硫属玻璃(Cd-Ag-As-I-S)制备敏感材料,结合脉冲激光沉积技术与光寻址电位传感器的特点,在光寻址电位传感器表面上沉积对镉离子敏感的薄膜材料,研制了一种新型镉离子敏感薄膜传感器.该传感器基底为N型单晶硅片,金属接触层为Cr/Au.通过实验得出该传感器的检出下限为1.15×10-7 mol/L,响应时间小于2 min,适用溶液pH范围为4～7,具有测量快速灵活、所需样品少、测量下限低等特点.该传感器对干扰离子具有较好的抑制能力.该传感器采用交流光激发电流信号进行测量,相对于离子选择电极,灵敏度得到了提高.实验结果表明脉冲激光沉积方法是制备薄膜微型传感器的一种新的有效手段.
採用用于鎘離子選擇電極的硫屬玻璃(Cd-Ag-As-I-S)製備敏感材料,結閤脈遲激光沉積技術與光尋阯電位傳感器的特點,在光尋阯電位傳感器錶麵上沉積對鎘離子敏感的薄膜材料,研製瞭一種新型鎘離子敏感薄膜傳感器.該傳感器基底為N型單晶硅片,金屬接觸層為Cr/Au.通過實驗得齣該傳感器的檢齣下限為1.15×10-7 mol/L,響應時間小于2 min,適用溶液pH範圍為4～7,具有測量快速靈活、所需樣品少、測量下限低等特點.該傳感器對榦擾離子具有較好的抑製能力.該傳感器採用交流光激髮電流信號進行測量,相對于離子選擇電極,靈敏度得到瞭提高.實驗結果錶明脈遲激光沉積方法是製備薄膜微型傳感器的一種新的有效手段.
채용용우력리자선택전겁적류속파리(Cd-Ag-As-I-S)제비민감재료,결합맥충격광침적기술여광심지전위전감기적특점,재광심지전위전감기표면상침적대력리자민감적박막재료,연제료일충신형력리자민감박막전감기.해전감기기저위N형단정규편,금속접촉층위Cr/Au.통과실험득출해전감기적검출하한위1.15×10-7 mol/L,향응시간소우2 min,괄용용액pH범위위4～7,구유측량쾌속령활、소수양품소、측량하한저등특점.해전감기대간우리자구유교호적억제능력.해전감기채용교류광격발전류신호진행측량,상대우리자선택전겁,령민도득도료제고.실험결과표명맥충격광침적방법시제비박막미형전감기적일충신적유효수단.
