大学物理实验
大學物理實驗
대학물리실험
PHYSICAL EXPERIMENT OF COLLEGE
2009年
3期
27-32
,共6页
电子回旋共振等离子体%Langmuir单静电探%等离子体分布特性
電子迴鏇共振等離子體%Langmuir單靜電探%等離子體分佈特性
전자회선공진등리자체%Langmuir단정전탐%등리자체분포특성
本文采用Langmuir单静电探针法,分析诊断了电子回旋共振等离子体的参数分布特性,并分析了微波功率、气压对轴向、径向等离子体空问分布的影响.在微波功率400w～650W范围内等离子体具有较高的密度及良好的径向均匀性.
本文採用Langmuir單靜電探針法,分析診斷瞭電子迴鏇共振等離子體的參數分佈特性,併分析瞭微波功率、氣壓對軸嚮、徑嚮等離子體空問分佈的影響.在微波功率400w～650W範圍內等離子體具有較高的密度及良好的徑嚮均勻性.
본문채용Langmuir단정전탐침법,분석진단료전자회선공진등리자체적삼수분포특성,병분석료미파공솔、기압대축향、경향등리자체공문분포적영향.재미파공솔400w～650W범위내등리자체구유교고적밀도급량호적경향균균성.
