光电子技术
光電子技術
광전자기술
OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2010年
4期
266-269
,共4页
刻蚀型介质%场致发射%后栅型
刻蝕型介質%場緻髮射%後柵型
각식형개질%장치발사%후책형
针对后栅型场致发射显示器(FED)器件介质层制作困难的问题,提出采用刻蚀型介质制作后栅型FED器件.该器件采用普通银浆制作栅极电极,以刻蚀型介质制作介质层,采用感光银浆制作阴极电极,并作为介质刻蚀的掩膜层,CNT为阴极发射材料.器件耐压测试结果表明该介质层耐压性能良好,场发射测试结果表明该器件场发射性能优良.
針對後柵型場緻髮射顯示器(FED)器件介質層製作睏難的問題,提齣採用刻蝕型介質製作後柵型FED器件.該器件採用普通銀漿製作柵極電極,以刻蝕型介質製作介質層,採用感光銀漿製作陰極電極,併作為介質刻蝕的掩膜層,CNT為陰極髮射材料.器件耐壓測試結果錶明該介質層耐壓性能良好,場髮射測試結果錶明該器件場髮射性能優良.
침대후책형장치발사현시기(FED)기건개질층제작곤난적문제,제출채용각식형개질제작후책형FED기건.해기건채용보통은장제작책겁전겁,이각식형개질제작개질층,채용감광은장제작음겁전겁,병작위개질각식적엄막층,CNT위음겁발사재료.기건내압측시결과표명해개질층내압성능량호,장발사측시결과표명해기건장발사성능우량.
