物理学报
物理學報
물이학보
2005年
7期
3241-3246
,共6页
高鹏%徐军%邓新绿%王德和%董闯
高鵬%徐軍%鄧新綠%王德和%董闖
고붕%서군%산신록%왕덕화%동틈
全方位离子注入%类金刚石碳膜%拉曼光谱%摩擦磨损
全方位離子註入%類金剛石碳膜%拉曼光譜%摩抆磨損
전방위리자주입%류금강석탄막%랍만광보%마찰마손
利用微波ECR全方位离子注入技术,在单晶硅(100)衬底上制备类金刚石薄膜.分析结果表明,所制备的类金刚石碳膜具有典型的类金刚石结构特征,薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,摩擦系数小.其中,薄膜的结构和性能与氢流量比关系密切,随氢流量比的增加,薄膜的沉积速率减小,表面粗糙度降低,且生成sp3键更加趋向于金刚石结构,表面能更低,从而使摩擦系数大幅降低.
利用微波ECR全方位離子註入技術,在單晶硅(100)襯底上製備類金剛石薄膜.分析結果錶明,所製備的類金剛石碳膜具有典型的類金剛石結構特徵,薄膜均勻、緻密,錶麵粗糙度小,摩抆繫數小.其中,薄膜的結構和性能與氫流量比關繫密切,隨氫流量比的增加,薄膜的沉積速率減小,錶麵粗糙度降低,且生成sp3鍵更加趨嚮于金剛石結構,錶麵能更低,從而使摩抆繫數大幅降低.
이용미파ECR전방위리자주입기술,재단정규(100)츤저상제비류금강석박막.분석결과표명,소제비적류금강석탄막구유전형적류금강석결구특정,박막균균、치밀,표면조조도소,마찰계수소.기중,박막적결구화성능여경류량비관계밀절,수경류량비적증가,박막적침적속솔감소,표면조조도강저,차생성sp3건경가추향우금강석결구,표면능경저,종이사마찰계수대폭강저.
