强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2007年
8期
1325-1328
,共4页
邓震霞%贺洪波%宋永香%杨燕静%范正修%邵建达
鄧震霞%賀洪波%宋永香%楊燕靜%範正脩%邵建達
산진하%하홍파%송영향%양연정%범정수%소건체
薄膜%LBO晶体%倍频增透膜%过渡层%退火%热应力%热膨胀系数
薄膜%LBO晶體%倍頻增透膜%過渡層%退火%熱應力%熱膨脹繫數
박막%LBO정체%배빈증투막%과도층%퇴화%열응력%열팽창계수
用电子束蒸发沉积方法在X切LBO(X-LBO)晶体上镀制了两种不同膜系结构的1 064和532 nm倍频增透膜,其中一种膜系结构为基底/ZrO2/Y2O3/Al2O3/SiO2/空气,另一种为基底/0.5Al2O3/ZrO2/Y2O3/Al2O3/SiO2/空气,两种膜系结构的主要差别在于有无氧化铝过渡层.测量了薄膜的反射率光谱曲线,发现两种增透膜在1 064和532 nm处的反射率均小于0.5%,实际镀制结果与理论设计曲线的差异主要是由材料折射率的变化引起的.且对样品在空气环境中进行了温度为473 K的退火处理,结果发现两种膜系结构均表现了较优异的光学性能,氧化铝过渡层的加入使薄膜具有强的热应力性能.
用電子束蒸髮沉積方法在X切LBO(X-LBO)晶體上鍍製瞭兩種不同膜繫結構的1 064和532 nm倍頻增透膜,其中一種膜繫結構為基底/ZrO2/Y2O3/Al2O3/SiO2/空氣,另一種為基底/0.5Al2O3/ZrO2/Y2O3/Al2O3/SiO2/空氣,兩種膜繫結構的主要差彆在于有無氧化鋁過渡層.測量瞭薄膜的反射率光譜麯線,髮現兩種增透膜在1 064和532 nm處的反射率均小于0.5%,實際鍍製結果與理論設計麯線的差異主要是由材料摺射率的變化引起的.且對樣品在空氣環境中進行瞭溫度為473 K的退火處理,結果髮現兩種膜繫結構均錶現瞭較優異的光學性能,氧化鋁過渡層的加入使薄膜具有彊的熱應力性能.
용전자속증발침적방법재X절LBO(X-LBO)정체상도제료량충불동막계결구적1 064화532 nm배빈증투막,기중일충막계결구위기저/ZrO2/Y2O3/Al2O3/SiO2/공기,령일충위기저/0.5Al2O3/ZrO2/Y2O3/Al2O3/SiO2/공기,량충막계결구적주요차별재우유무양화려과도층.측량료박막적반사솔광보곡선,발현량충증투막재1 064화532 nm처적반사솔균소우0.5%,실제도제결과여이론설계곡선적차이주요시유재료절사솔적변화인기적.차대양품재공기배경중진행료온도위473 K적퇴화처리,결과발현량충막계결구균표현료교우이적광학성능,양화려과도층적가입사박막구유강적열응력성능.
