真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
5期
531-535
,共5页
倪佳苗%赵修建%郑小林%赵江
倪佳苗%趙脩建%鄭小林%趙江
예가묘%조수건%정소림%조강
SnO2薄膜%P型透明导电膜%综述%透明氧化物
SnO2薄膜%P型透明導電膜%綜述%透明氧化物
SnO2박막%P형투명도전막%종술%투명양화물
SnO2薄膜是一种应用广泛的宽禁带半导体材料.近几年来,随着对SnO2的光电性质及其在光电器件方面应用的开发研究,SnO2薄膜成为研究热点之一.制备掺杂的p型SnO2是形成同质p-n结以及实现其实际应用的重要途径.近年来,国内外在p型SnO2薄膜研究方面取得了较大的进展.目前报道的p型SnO2薄膜的最高电导率为5.952Ω-1cm-1.并且得到了具有较好非线性伏安特性的铟锡氧化物的透明p-n结.本文就其最新进展进行了综述.
SnO2薄膜是一種應用廣汎的寬禁帶半導體材料.近幾年來,隨著對SnO2的光電性質及其在光電器件方麵應用的開髮研究,SnO2薄膜成為研究熱點之一.製備摻雜的p型SnO2是形成同質p-n結以及實現其實際應用的重要途徑.近年來,國內外在p型SnO2薄膜研究方麵取得瞭較大的進展.目前報道的p型SnO2薄膜的最高電導率為5.952Ω-1cm-1.併且得到瞭具有較好非線性伏安特性的銦錫氧化物的透明p-n結.本文就其最新進展進行瞭綜述.
SnO2박막시일충응용엄범적관금대반도체재료.근궤년래,수착대SnO2적광전성질급기재광전기건방면응용적개발연구,SnO2박막성위연구열점지일.제비참잡적p형SnO2시형성동질p-n결이급실현기실제응용적중요도경.근년래,국내외재p형SnO2박막연구방면취득료교대적진전.목전보도적p형SnO2박막적최고전도솔위5.952Ω-1cm-1.병차득도료구유교호비선성복안특성적인석양화물적투명p-n결.본문취기최신진전진행료종술.
