电子产品可靠性与环境试验
電子產品可靠性與環境試驗
전자산품가고성여배경시험
ELECTRONIC PRODUCT RELIABILITY AND ENVIRONMENTAL TESTING
2003年
6期
13-20
,共8页
曾繁中%简维廷%王伟%张卿彦%蔡炳初
曾繁中%簡維廷%王偉%張卿彥%蔡炳初
증번중%간유정%왕위%장경언%채병초
内建可靠性%测试式可靠性%半导体%圆片级可靠性
內建可靠性%測試式可靠性%半導體%圓片級可靠性
내건가고성%측시식가고성%반도체%원편급가고성
为满足半导体技术的高速发展与进步的要求以及客户对产品的性能、服务、运送、质量及可靠性等方面的期望,我们有必要尽早地把有缺陷的产品从生产线上鉴别出来,并采用更为有效的方法来开发、验证及监控工艺过程.传统的测试式可靠性方法,主要在生产线末端通过老化、品质管理、可靠性测试和失效分析等手段来鉴别或评估可靠性失效率,由于其测试周期长,已不再适用于现代半导体工业.内建可靠性方法正好相反,它具有迅速反馈、早期预警和循环控制等优点.对半导体制造业来说,内建可靠性方法由两大部分组成:圆片级可靠性系统和内建可靠性数据库.我们已经成功地运用此方法完成了从0.35～0.13μm技术的产品可靠性认证和工艺监控.
為滿足半導體技術的高速髮展與進步的要求以及客戶對產品的性能、服務、運送、質量及可靠性等方麵的期望,我們有必要儘早地把有缺陷的產品從生產線上鑒彆齣來,併採用更為有效的方法來開髮、驗證及鑑控工藝過程.傳統的測試式可靠性方法,主要在生產線末耑通過老化、品質管理、可靠性測試和失效分析等手段來鑒彆或評估可靠性失效率,由于其測試週期長,已不再適用于現代半導體工業.內建可靠性方法正好相反,它具有迅速反饋、早期預警和循環控製等優點.對半導體製造業來說,內建可靠性方法由兩大部分組成:圓片級可靠性繫統和內建可靠性數據庫.我們已經成功地運用此方法完成瞭從0.35～0.13μm技術的產品可靠性認證和工藝鑑控.
위만족반도체기술적고속발전여진보적요구이급객호대산품적성능、복무、운송、질량급가고성등방면적기망,아문유필요진조지파유결함적산품종생산선상감별출래,병채용경위유효적방법래개발、험증급감공공예과정.전통적측시식가고성방법,주요재생산선말단통과노화、품질관리、가고성측시화실효분석등수단래감별혹평고가고성실효솔,유우기측시주기장,이불재괄용우현대반도체공업.내건가고성방법정호상반,타구유신속반궤、조기예경화순배공제등우점.대반도체제조업래설,내건가고성방법유량대부분조성:원편급가고성계통화내건가고성수거고.아문이경성공지운용차방법완성료종0.35～0.13μm기술적산품가고성인증화공예감공.
