光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2004年
9期
22-25
,共4页
徐清兰%伍凡%吴时彬%王家金
徐清蘭%伍凡%吳時彬%王傢金
서청란%오범%오시빈%왕가금
轻质平面反射镜%光学加工%粗糙度%抛光%面形精度
輕質平麵反射鏡%光學加工%粗糙度%拋光%麵形精度
경질평면반사경%광학가공%조조도%포광%면형정도
介绍了对角线为110mm六边形反应烧结轻质碳化硅平面反射镜超光滑光学加工工艺流程.详细阐述了各个工序所使用的磨具、磨料和抛光机床工艺参数,对实际加工的轻质碳化硅平面反射镜超光滑表面进行检测,检测结果为:面形精度均方根值(RMS)为0.011λ(PV值为0.071λ,λ=632.8nm),表面粗糙度RMS达0.75nm.
介紹瞭對角線為110mm六邊形反應燒結輕質碳化硅平麵反射鏡超光滑光學加工工藝流程.詳細闡述瞭各箇工序所使用的磨具、磨料和拋光機床工藝參數,對實際加工的輕質碳化硅平麵反射鏡超光滑錶麵進行檢測,檢測結果為:麵形精度均方根值(RMS)為0.011λ(PV值為0.071λ,λ=632.8nm),錶麵粗糙度RMS達0.75nm.
개소료대각선위110mm륙변형반응소결경질탄화규평면반사경초광활광학가공공예류정.상세천술료각개공서소사용적마구、마료화포광궤상공예삼수,대실제가공적경질탄화규평면반사경초광활표면진행검측,검측결과위:면형정도균방근치(RMS)위0.011λ(PV치위0.071λ,λ=632.8nm),표면조조도RMS체0.75nm.
