传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
6期
2574-2577
,共4页
伍楷舜%潘洪昌%张甫光%江绍基
伍楷舜%潘洪昌%張甫光%江紹基
오해순%반홍창%장보광%강소기
CCD%镀膜%宽光谱监控%数字滤波
CCD%鍍膜%寬光譜鑑控%數字濾波
CCD%도막%관광보감공%수자려파
使用CCD(电荷耦合器)进行光学镀膜宽光谱监控过程中,监测信号受外界杂散光干扰、真空室内背景辐射等因数影响,信噪比低难于准确监控.本文通过对系统前端光路改造以及后期数据数字滤波处理,达到信号压噪目的,使系统在宽光谱膜厚监控过程中具有稳定性好、精度较高、响应速度快等优点.
使用CCD(電荷耦閤器)進行光學鍍膜寬光譜鑑控過程中,鑑測信號受外界雜散光榦擾、真空室內揹景輻射等因數影響,信譟比低難于準確鑑控.本文通過對繫統前耑光路改造以及後期數據數字濾波處理,達到信號壓譟目的,使繫統在寬光譜膜厚鑑控過程中具有穩定性好、精度較高、響應速度快等優點.
사용CCD(전하우합기)진행광학도막관광보감공과정중,감측신호수외계잡산광간우、진공실내배경복사등인수영향,신조비저난우준학감공.본문통과대계통전단광로개조이급후기수거수자려파처리,체도신호압조목적,사계통재관광보막후감공과정중구유은정성호、정도교고、향응속도쾌등우점.
