核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2009年
1期
76-80
,共5页
杨树敏%谢巧玲%周兴泰%朱德彰%巩金龙
楊樹敏%謝巧玲%週興泰%硃德彰%鞏金龍
양수민%사교령%주흥태%주덕창%공금룡
金刚石薄膜%生长气压%热丝化学气相沉积
金剛石薄膜%生長氣壓%熱絲化學氣相沉積
금강석박막%생장기압%열사화학기상침적
本文研究了气压对热丝化学气相沉积金刚石薄膜沉积温度的影响.扫描电子显微镜(SEM)结果表明,同常规热丝化学气相沉积的气压(5.32 kPa)相比,采用较低的气压(0.67 kPa)、在500℃的低温下可获得常规气压下不大容易获得的、小颗粒的金刚石薄膜.Raman结果进一步证实了这种薄膜具有同5.32 kPa、700℃条件下沉积的薄膜的可比拟的质量.低温低压下高质量的金刚石薄膜的获得同气压在决定衬底表面的碳氢分子活性基团浓度的两种相反的作用密切相关.同相同温度其它气压条件相比,在500℃的衬底温度、0.67 kPa气压下到达衬底表面的碳氢分子活性基团具有较高的浓度,从而导致了常规气压下不大可能获得的高质量,小颗粒金刚石薄膜的低温沉积.
本文研究瞭氣壓對熱絲化學氣相沉積金剛石薄膜沉積溫度的影響.掃描電子顯微鏡(SEM)結果錶明,同常規熱絲化學氣相沉積的氣壓(5.32 kPa)相比,採用較低的氣壓(0.67 kPa)、在500℃的低溫下可穫得常規氣壓下不大容易穫得的、小顆粒的金剛石薄膜.Raman結果進一步證實瞭這種薄膜具有同5.32 kPa、700℃條件下沉積的薄膜的可比擬的質量.低溫低壓下高質量的金剛石薄膜的穫得同氣壓在決定襯底錶麵的碳氫分子活性基糰濃度的兩種相反的作用密切相關.同相同溫度其它氣壓條件相比,在500℃的襯底溫度、0.67 kPa氣壓下到達襯底錶麵的碳氫分子活性基糰具有較高的濃度,從而導緻瞭常規氣壓下不大可能穫得的高質量,小顆粒金剛石薄膜的低溫沉積.
본문연구료기압대열사화학기상침적금강석박막침적온도적영향.소묘전자현미경(SEM)결과표명,동상규열사화학기상침적적기압(5.32 kPa)상비,채용교저적기압(0.67 kPa)、재500℃적저온하가획득상규기압하불대용역획득적、소과립적금강석박막.Raman결과진일보증실료저충박막구유동5.32 kPa、700℃조건하침적적박막적가비의적질량.저온저압하고질량적금강석박막적획득동기압재결정츤저표면적탄경분자활성기단농도적량충상반적작용밀절상관.동상동온도기타기압조건상비,재500℃적츤저온도、0.67 kPa기압하도체츤저표면적탄경분자활성기단구유교고적농도,종이도치료상규기압하불대가능획득적고질량,소과립금강석박막적저온침적.
