纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2009年
3期
233-238
,共6页
陈李%陈德勇%王军波%毋正伟%张明
陳李%陳德勇%王軍波%毌正偉%張明
진리%진덕용%왕군파%무정위%장명
电磁式微机械陀螺%振动环%数学建模%优化设计
電磁式微機械陀螺%振動環%數學建模%優化設計
전자식미궤계타라%진동배%수학건모%우화설계
提出了一种新型的电磁式微机械振动环陀螺结构.为优化陀螺的设计和提高陀螺的性能,在推导微机械陀螺集总参数模型的基础上,建立了电磁式微机械振动环陀螺的数学模型,得到了影响陀螺灵敏度的因素,据此对陀螺参数进行优化设计.采用有限元分析方法和实验测试方法相结合来验证该模型和设计方案的可行性.模型计算结果表明,优化后的陀螺在-200～200(°)·s-1的范围内,其机械灵敏度为0.002 3μm/((°)·s-1),电学灵敏度为0.062μV/((°)·s-1).用有限元模拟得到陀螺机械灵敏度为0.002 9 μm/((°)·s-1),锁相放大器测试得到微陀螺样机电学灵敏度为0.051 μN/((°)·s-1).有限元仿真和样机实测结果与理论计算结果基本吻合,证实了该模型的正确性及陀螺设计方案的可行性.
提齣瞭一種新型的電磁式微機械振動環陀螺結構.為優化陀螺的設計和提高陀螺的性能,在推導微機械陀螺集總參數模型的基礎上,建立瞭電磁式微機械振動環陀螺的數學模型,得到瞭影響陀螺靈敏度的因素,據此對陀螺參數進行優化設計.採用有限元分析方法和實驗測試方法相結閤來驗證該模型和設計方案的可行性.模型計算結果錶明,優化後的陀螺在-200～200(°)·s-1的範圍內,其機械靈敏度為0.002 3μm/((°)·s-1),電學靈敏度為0.062μV/((°)·s-1).用有限元模擬得到陀螺機械靈敏度為0.002 9 μm/((°)·s-1),鎖相放大器測試得到微陀螺樣機電學靈敏度為0.051 μN/((°)·s-1).有限元倣真和樣機實測結果與理論計算結果基本吻閤,證實瞭該模型的正確性及陀螺設計方案的可行性.
제출료일충신형적전자식미궤계진동배타라결구.위우화타라적설계화제고타라적성능,재추도미궤계타라집총삼수모형적기출상,건립료전자식미궤계진동배타라적수학모형,득도료영향타라령민도적인소,거차대타라삼수진행우화설계.채용유한원분석방법화실험측시방법상결합래험증해모형화설계방안적가행성.모형계산결과표명,우화후적타라재-200～200(°)·s-1적범위내,기궤계령민도위0.002 3μm/((°)·s-1),전학령민도위0.062μV/((°)·s-1).용유한원모의득도타라궤계령민도위0.002 9 μm/((°)·s-1),쇄상방대기측시득도미타라양궤전학령민도위0.051 μN/((°)·s-1).유한원방진화양궤실측결과여이론계산결과기본문합,증실료해모형적정학성급타라설계방안적가행성.
