功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
z2期
304-307
,共4页
冯兰%刁训刚%王涛%刘海鹰%康明生
馮蘭%刁訓剛%王濤%劉海鷹%康明生
풍란%조훈강%왕도%류해응%강명생
ZnO:Al薄膜%透明导电薄膜%共溅射%倾斜溅射
ZnO:Al薄膜%透明導電薄膜%共濺射%傾斜濺射
ZnO:Al박막%투명도전박막%공천사%경사천사
利用直流-射频共溅射法在玻璃基底上低温制备了系列掺铝氧化锌(ZAO)透明导电薄膜.研究了低温溅射过程中倾斜溅射靶偏角对样品电学性能、紫外-可见-近红外光区透过率、X射线衍射谱及薄膜表面形貌的影响.结果表明,室温条件下制备的ZAO薄膜具有(002)择优取向,当靶偏角为23°时,薄膜方块电阻最低,可达17Ω/□,电阻率为2.2×10-3Ω·cm,可见光平均透过率在85%以上,最高可在95%以上.紫外截止和近红外反射效果明显.
利用直流-射頻共濺射法在玻璃基底上低溫製備瞭繫列摻鋁氧化鋅(ZAO)透明導電薄膜.研究瞭低溫濺射過程中傾斜濺射靶偏角對樣品電學性能、紫外-可見-近紅外光區透過率、X射線衍射譜及薄膜錶麵形貌的影響.結果錶明,室溫條件下製備的ZAO薄膜具有(002)擇優取嚮,噹靶偏角為23°時,薄膜方塊電阻最低,可達17Ω/□,電阻率為2.2×10-3Ω·cm,可見光平均透過率在85%以上,最高可在95%以上.紫外截止和近紅外反射效果明顯.
이용직류-사빈공천사법재파리기저상저온제비료계렬참려양화자(ZAO)투명도전박막.연구료저온천사과정중경사천사파편각대양품전학성능、자외-가견-근홍외광구투과솔、X사선연사보급박막표면형모적영향.결과표명,실온조건하제비적ZAO박막구유(002)택우취향,당파편각위23°시,박막방괴전조최저,가체17Ω/□,전조솔위2.2×10-3Ω·cm,가견광평균투과솔재85%이상,최고가재95%이상.자외절지화근홍외반사효과명현.
