稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2010年
z1期
438-443
,共6页
黎宪宽%陈力%蔡宏中%魏巧灵%胡昌义
黎憲寬%陳力%蔡宏中%魏巧靈%鬍昌義
려헌관%진력%채굉중%위교령%호창의
化学气相沉积%难熔金属%应用发展%挑战和机遇
化學氣相沉積%難鎔金屬%應用髮展%挑戰和機遇
화학기상침적%난용금속%응용발전%도전화궤우
简述了化学气相沉积技术(Chemical Vapor Deposition, 简称CVD)的发展历程及其应用领域;重点阐述CVD技术在难熔金属(W、Re、Ta、Mo、Nb)相关领域的应用概况并展望了其研究前景,特别指出CVD技术在制备难熔金属合金研究上存在的挑战和机遇.
簡述瞭化學氣相沉積技術(Chemical Vapor Deposition, 簡稱CVD)的髮展歷程及其應用領域;重點闡述CVD技術在難鎔金屬(W、Re、Ta、Mo、Nb)相關領域的應用概況併展望瞭其研究前景,特彆指齣CVD技術在製備難鎔金屬閤金研究上存在的挑戰和機遇.
간술료화학기상침적기술(Chemical Vapor Deposition, 간칭CVD)적발전역정급기응용영역;중점천술CVD기술재난용금속(W、Re、Ta、Mo、Nb)상관영역적응용개황병전망료기연구전경,특별지출CVD기술재제비난용금속합금연구상존재적도전화궤우.
