实验技术与管理
實驗技術與管理
실험기술여관리
EXPERIMENTAL TECHNOLOGY AND MANAGEMENT
2011年
4期
63-66
,共4页
薄膜制备%提拉装置%液压传动
薄膜製備%提拉裝置%液壓傳動
박막제비%제랍장치%액압전동
设计并开发了一种薄膜提拉装置.该装置由液压装置、提拉装置、控制装置3个独立分体装置组成.为了实现薄膜制备过程中无振动、匀速提拉运行的"理想"成膜条件,选用液压传动系统以液体静压力进行动力传递和控制,并采用了与振动源保持柔性连接的隔离技术.该装置具有振动极小、低速稳定、匀速运行等优点,制得的薄膜表面平整、厚度均匀.为薄膜制备领域的教学科研和应用技术研究,提供了一种高品质的薄膜制备设备.
設計併開髮瞭一種薄膜提拉裝置.該裝置由液壓裝置、提拉裝置、控製裝置3箇獨立分體裝置組成.為瞭實現薄膜製備過程中無振動、勻速提拉運行的"理想"成膜條件,選用液壓傳動繫統以液體靜壓力進行動力傳遞和控製,併採用瞭與振動源保持柔性連接的隔離技術.該裝置具有振動極小、低速穩定、勻速運行等優點,製得的薄膜錶麵平整、厚度均勻.為薄膜製備領域的教學科研和應用技術研究,提供瞭一種高品質的薄膜製備設備.
설계병개발료일충박막제랍장치.해장치유액압장치、제랍장치、공제장치3개독립분체장치조성.위료실현박막제비과정중무진동、균속제랍운행적"이상"성막조건,선용액압전동계통이액체정압력진행동력전체화공제,병채용료여진동원보지유성련접적격리기술.해장치구유진동겁소、저속은정、균속운행등우점,제득적박막표면평정、후도균균.위박막제비영역적교학과연화응용기술연구,제공료일충고품질적박막제비설비.
