电子学报
電子學報
전자학보
ACTA ELECTRONICA SINICA
2011年
3期
609-612
,共4页
集成光学%阵列波导光栅%光谱漂移%梯型截面%等效能流%串扰
集成光學%陣列波導光柵%光譜漂移%梯型截麵%等效能流%串擾
집성광학%진렬파도광책%광보표이%제형절면%등효능류%천우
本文基于阵列波导光栅(AWG)的传输理论,利用含氟聚合物(PFS-co-GMA)共聚物材料,对17×17信道光谱响应平坦化AWG波分复用器进行了参数优化.由于在聚合物阵列波导光栅器件的制备过程中,选用了反应离子刻蚀(RIE)工艺和蒸汽回溶技术,形成的梯形截面波导芯,使AWG传输的光产生相位移,导致传输光谱移动,引起串扰的变化.为此我们运用等效能流分析方法对矩形截面AWG器件的参数进一步修正,通过优化设计弥补了工艺的不足.实验测试结果表明:AWG中心波长约为1550.865 nm,3-dB带宽约为0.478 nm,中心波长插入损耗约为10.5dB,串扰约为-21.5dB.
本文基于陣列波導光柵(AWG)的傳輸理論,利用含氟聚閤物(PFS-co-GMA)共聚物材料,對17×17信道光譜響應平坦化AWG波分複用器進行瞭參數優化.由于在聚閤物陣列波導光柵器件的製備過程中,選用瞭反應離子刻蝕(RIE)工藝和蒸汽迴溶技術,形成的梯形截麵波導芯,使AWG傳輸的光產生相位移,導緻傳輸光譜移動,引起串擾的變化.為此我們運用等效能流分析方法對矩形截麵AWG器件的參數進一步脩正,通過優化設計瀰補瞭工藝的不足.實驗測試結果錶明:AWG中心波長約為1550.865 nm,3-dB帶寬約為0.478 nm,中心波長插入損耗約為10.5dB,串擾約為-21.5dB.
본문기우진렬파도광책(AWG)적전수이론,이용함불취합물(PFS-co-GMA)공취물재료,대17×17신도광보향응평탄화AWG파분복용기진행료삼수우화.유우재취합물진렬파도광책기건적제비과정중,선용료반응리자각식(RIE)공예화증기회용기술,형성적제형절면파도심,사AWG전수적광산생상위이,도치전수광보이동,인기천우적변화.위차아문운용등효능류분석방법대구형절면AWG기건적삼수진일보수정,통과우화설계미보료공예적불족.실험측시결과표명:AWG중심파장약위1550.865 nm,3-dB대관약위0.478 nm,중심파장삽입손모약위10.5dB,천우약위-21.5dB.
