影像科学与光化学
影像科學與光化學
영상과학여광화학
IMAGING SCIENCE AND PHOTOCHEMISTRY
2012年
5期
347-357
,共11页
李浩%金峰%陈卫强%段宣明
李浩%金峰%陳衛彊%段宣明
리호%금봉%진위강%단선명
杯芳烃%分子玻璃%正性光刻胶%多光子光刻
杯芳烴%分子玻璃%正性光刻膠%多光子光刻
배방경%분자파리%정성광각효%다광자광각
分子玻璃材料和多光子光刻技术分别是近年来光刻胶和光刻技术领域的研究热点.本文对分子玻璃正性光刻胶在多光子光刻中的应用进行了探索,设计合成了叔丁氧基羰基保护的杯[4]芳烃衍生物分子玻璃材料,将其作为主体材料与光生酸剂三氟甲磺酸三苯锍鎓盐进行复配,制备了分子玻璃正性光刻胶,探讨并优化了光刻胶的成分配比及其在紫外光曝光下的显影工艺.利用780nm波长飞秒激光对所制备的分子玻璃正性光刻胶进行了多光子光刻特性的评价,实验得到了最低线宽180 nm的线条和复杂的二维微结构图形,结果表明杯[4]芳烃衍生物分子玻璃正性光刻胶有望应用于多光子光刻技术.
分子玻璃材料和多光子光刻技術分彆是近年來光刻膠和光刻技術領域的研究熱點.本文對分子玻璃正性光刻膠在多光子光刻中的應用進行瞭探索,設計閤成瞭叔丁氧基羰基保護的杯[4]芳烴衍生物分子玻璃材料,將其作為主體材料與光生痠劑三氟甲磺痠三苯锍鎓鹽進行複配,製備瞭分子玻璃正性光刻膠,探討併優化瞭光刻膠的成分配比及其在紫外光曝光下的顯影工藝.利用780nm波長飛秒激光對所製備的分子玻璃正性光刻膠進行瞭多光子光刻特性的評價,實驗得到瞭最低線寬180 nm的線條和複雜的二維微結構圖形,結果錶明杯[4]芳烴衍生物分子玻璃正性光刻膠有望應用于多光子光刻技術.
분자파리재료화다광자광각기술분별시근년래광각효화광각기술영역적연구열점.본문대분자파리정성광각효재다광자광각중적응용진행료탐색,설계합성료숙정양기탄기보호적배[4]방경연생물분자파리재료,장기작위주체재료여광생산제삼불갑광산삼분류옹염진행복배,제비료분자파리정성광각효,탐토병우화료광각효적성분배비급기재자외광폭광하적현영공예.이용780nm파장비초격광대소제비적분자파리정성광각효진행료다광자광각특성적평개,실험득도료최저선관180 nm적선조화복잡적이유미결구도형,결과표명배[4]방경연생물분자파리정성광각효유망응용우다광자광각기술.
