低温与特气
低溫與特氣
저온여특기
LOW TEMPERATURE AND SPECIALTY GASES
2001年
3期
20-23
,共4页
甲硅烷%乙硅烷%低温冷凝%分子筛%恒温恒压汽化
甲硅烷%乙硅烷%低溫冷凝%分子篩%恆溫恆壓汽化
갑규완%을규완%저온냉응%분자사%항온항압기화
用Mg2Si制备SiH4必然伴随产生Si2H6.经二级低温冷凝 ,分子筛吸附和恒温恒压汽化等工艺技术过程,能够对两种气体进行最有效的分离 .并且可以制备Si2H6和总杂质含量≤10×10-6,基磷＜0.2×10-9, 基硼＜0.05×10-9的高纯SiH4.
用Mg2Si製備SiH4必然伴隨產生Si2H6.經二級低溫冷凝 ,分子篩吸附和恆溫恆壓汽化等工藝技術過程,能夠對兩種氣體進行最有效的分離 .併且可以製備Si2H6和總雜質含量≤10×10-6,基燐＜0.2×10-9, 基硼＜0.05×10-9的高純SiH4.
용Mg2Si제비SiH4필연반수산생Si2H6.경이급저온냉응 ,분자사흡부화항온항압기화등공예기술과정,능구대량충기체진행최유효적분리 .병차가이제비Si2H6화총잡질함량≤10×10-6,기린＜0.2×10-9, 기붕＜0.05×10-9적고순SiH4.
