功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
z1期
2193-2195
,共3页
孙心瑗%周灵平%林良武%李得意%李绍禄%陈本敬
孫心瑗%週靈平%林良武%李得意%李紹祿%陳本敬
손심원%주령평%림량무%리득의%리소록%진본경
CVD金刚石膜%X射线衍射%晶格松弛%自退火%耐磨性能
CVD金剛石膜%X射線衍射%晶格鬆弛%自退火%耐磨性能
CVD금강석막%X사선연사%정격송이%자퇴화%내마성능
应用X射线衍射仪的薄膜附件对热丝化学气相沉积金刚石厚膜的成核面和生长面进行分析,结果表明,金刚石厚膜的晶格常数从生长面到形核面沿深度方向是逐渐变小的.化学气相沉积金刚石初期生长的晶体存在大量的空位等缺陷,晶格松弛,在金刚石膜持续生长过程中,形核面和膜内部在高温下发生长时间的自退火,缺陷浓度下降,晶格松弛现象消除,晶格常数变小并趋于理论值.试验表明,经长时间高温自退火的金刚石厚膜比薄膜具有更高的耐磨性.
應用X射線衍射儀的薄膜附件對熱絲化學氣相沉積金剛石厚膜的成覈麵和生長麵進行分析,結果錶明,金剛石厚膜的晶格常數從生長麵到形覈麵沿深度方嚮是逐漸變小的.化學氣相沉積金剛石初期生長的晶體存在大量的空位等缺陷,晶格鬆弛,在金剛石膜持續生長過程中,形覈麵和膜內部在高溫下髮生長時間的自退火,缺陷濃度下降,晶格鬆弛現象消除,晶格常數變小併趨于理論值.試驗錶明,經長時間高溫自退火的金剛石厚膜比薄膜具有更高的耐磨性.
응용X사선연사의적박막부건대열사화학기상침적금강석후막적성핵면화생장면진행분석,결과표명,금강석후막적정격상수종생장면도형핵면연심도방향시축점변소적.화학기상침적금강석초기생장적정체존재대량적공위등결함,정격송이,재금강석막지속생장과정중,형핵면화막내부재고온하발생장시간적자퇴화,결함농도하강,정격송이현상소제,정격상수변소병추우이론치.시험표명,경장시간고온자퇴화적금강석후막비박막구유경고적내마성.
