溅射功率和淀积时间对MgxZn1-xO薄膜结构特性的影响
천사공솔화정적시간대MgxZn1-xO박막결구특성적영향
Influence of sputtering power and deposition time on structure properties of Mgx Zn1-x O films
  • 万方数据
    山东大学学报（理学版） 산동대학학보（이학판）
    JOURNAL OF SHANDONG UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
    2005年 3期 49-52 ,共4页

    张锡健%马洪磊%王卿璞%马瑾%宗福建%肖洪地%计峰

    장석건%마홍뢰%왕경박%마근%종복건%초홍지%계봉

    MgxZn1-xO薄膜%射频磁控溅射%XRD%AFM MgxZn1-xO薄膜%射頻磁控濺射%XRD%AFM
    MgxZn1-xO박막%사빈자공천사%XRD%AFM
    用射频磁控溅射法在硅衬底上制备出MgxZn1-xO薄膜,研究了溅射功率和淀积时间对薄膜结构特性的影响.X射线衍射(XRD)谱和原子力显微镜(AFM)图像表明:MgxZn1-xO薄膜为六角纤锌矿结构,且具有非常好的沿垂直于衬底的c轴的择优取向.随着溅射功率和淀积时间的增加,X射线衍射峰的衍射角变大,半高宽(FWHM)减小,平均晶粒尺寸增加,薄膜结晶质量显著提高.
    용사빈자공천사법재규츤저상제비출MgxZn1-xO박막,연구료천사공솔화정적시간대박막결구특성적영향.X사선연사(XRD)보화원자력현미경(AFM)도상표명:MgxZn1-xO박막위륙각섬자광결구,차구유비상호적연수직우츤저적c축적택우취향.수착천사공솔화정적시간적증가,X사선연사봉적연사각변대,반고관(FWHM)감소,평균정립척촌증가,박막결정질량현저제고.
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