低温与超导
低溫與超導
저온여초도
CRYOGENICS AND SUPERCONDUCTIVITY
2008年
5期
38-41,46
,共5页
金薇%古宏伟%杨坚%张华%刘慧舟%杨玉卫
金薇%古宏偉%楊堅%張華%劉慧舟%楊玉衛
금미%고굉위%양견%장화%류혜주%양옥위
氧化钇%隔离层%直流反应溅射%涂层导体
氧化釔%隔離層%直流反應濺射%塗層導體
양화을%격리층%직류반응천사%도층도체
采用直流反应溅射的方法在具有立方织构的Ni基底上制备出了Y2O3 隔离层, 并研究了基带温度与H2O分压两个因素对Y2O3薄膜的织构取向以及表面形貌的影响.X射线衍射(XRD)结果和扫描电子显微镜(SEM)的分析表明,在温度为760℃,H2O分压为1.68×10-2Pa的条件下制备出的Y2O3薄膜具有强立方织构,平面内Φ扫描半高宽为7.07°,其表面均匀、致密、无裂纹.
採用直流反應濺射的方法在具有立方織構的Ni基底上製備齣瞭Y2O3 隔離層, 併研究瞭基帶溫度與H2O分壓兩箇因素對Y2O3薄膜的織構取嚮以及錶麵形貌的影響.X射線衍射(XRD)結果和掃描電子顯微鏡(SEM)的分析錶明,在溫度為760℃,H2O分壓為1.68×10-2Pa的條件下製備齣的Y2O3薄膜具有彊立方織構,平麵內Φ掃描半高寬為7.07°,其錶麵均勻、緻密、無裂紋.
채용직류반응천사적방법재구유립방직구적Ni기저상제비출료Y2O3 격리층, 병연구료기대온도여H2O분압량개인소대Y2O3박막적직구취향이급표면형모적영향.X사선연사(XRD)결과화소묘전자현미경(SEM)적분석표명,재온도위760℃,H2O분압위1.68×10-2Pa적조건하제비출적Y2O3박막구유강립방직구,평면내Φ소묘반고관위7.07°,기표면균균、치밀、무렬문.
