润滑与密封
潤滑與密封
윤활여밀봉
LUBRICATION ENGINEERING
2010年
4期
28-32
,共5页
郑军%周晖%温庆平%万志华%桑瑞鹏
鄭軍%週暉%溫慶平%萬誌華%桑瑞鵬
정군%주휘%온경평%만지화%상서붕
非平衡磁控溅射%MoS2-Ti复合薄膜%工件台偏压%结构和性能
非平衡磁控濺射%MoS2-Ti複閤薄膜%工件檯偏壓%結構和性能
비평형자공천사%MoS2-Ti복합박막%공건태편압%결구화성능
采用非平衡磁控溅射技术制备MoS2-Ti薄膜,研究工件台偏压对薄膜结构和性能的影响.利用XRF和XRD分析薄膜的成分和晶相结构,用CSM薄膜综合性能测试仪测试薄膜的厚度、硬度以及膜与基体的结合力,采用球-盘摩擦磨损试验机评价薄膜在真空环境下的摩擦学性能.结果表明:MoS2-Ti薄膜具有明显的(002)优势取向,薄膜中S、Mo原子比及膜厚随偏压的增加而减小,薄膜硬度及膜-基体附着力随偏压的增加而增大,薄膜在真空环境中的平均摩擦因数为0.02,受偏压影响不明显,薄膜寿命受偏压影响明显,当偏压在-100 V内变化时薄膜具有较长的寿命且随偏压的增加而增长,偏压继续增大薄膜耐磨寿命下降明显,当偏压为-200 V时薄膜不具备润滑性能.
採用非平衡磁控濺射技術製備MoS2-Ti薄膜,研究工件檯偏壓對薄膜結構和性能的影響.利用XRF和XRD分析薄膜的成分和晶相結構,用CSM薄膜綜閤性能測試儀測試薄膜的厚度、硬度以及膜與基體的結閤力,採用毬-盤摩抆磨損試驗機評價薄膜在真空環境下的摩抆學性能.結果錶明:MoS2-Ti薄膜具有明顯的(002)優勢取嚮,薄膜中S、Mo原子比及膜厚隨偏壓的增加而減小,薄膜硬度及膜-基體附著力隨偏壓的增加而增大,薄膜在真空環境中的平均摩抆因數為0.02,受偏壓影響不明顯,薄膜壽命受偏壓影響明顯,噹偏壓在-100 V內變化時薄膜具有較長的壽命且隨偏壓的增加而增長,偏壓繼續增大薄膜耐磨壽命下降明顯,噹偏壓為-200 V時薄膜不具備潤滑性能.
채용비평형자공천사기술제비MoS2-Ti박막,연구공건태편압대박막결구화성능적영향.이용XRF화XRD분석박막적성분화정상결구,용CSM박막종합성능측시의측시박막적후도、경도이급막여기체적결합력,채용구-반마찰마손시험궤평개박막재진공배경하적마찰학성능.결과표명:MoS2-Ti박막구유명현적(002)우세취향,박막중S、Mo원자비급막후수편압적증가이감소,박막경도급막-기체부착력수편압적증가이증대,박막재진공배경중적평균마찰인수위0.02,수편압영향불명현,박막수명수편압영향명현,당편압재-100 V내변화시박막구유교장적수명차수편압적증가이증장,편압계속증대박막내마수명하강명현,당편압위-200 V시박막불구비윤활성능.
