人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
2期
294-297
,共4页
杨莺%刘素娟%陈治明%林生晃%李科%杨明超
楊鶯%劉素娟%陳治明%林生晃%李科%楊明超
양앵%류소연%진치명%림생황%리과%양명초
SiC籽晶%表面状态%腐蚀%抛光%缺陷密度
SiC籽晶%錶麵狀態%腐蝕%拋光%缺陷密度
SiC자정%표면상태%부식%포광%결함밀도
为了研究表面状态对晶体质量的影响,本文分别采用腐蚀后抛光与未抛光的晶片作为籽晶,利用金相显微镜对所得晶体进行了显微观察,结果表明:经过腐蚀后抛光的籽晶生长出的晶体质量高于未抛光籽晶所得晶体；生长前端的位错尺寸以及数量小于未抛光籽晶,说明抛光去除了部分表面浅的缺陷腐蚀坑,同时减小深腐蚀坑的尺寸,使得籽晶生长表面的缺陷密度和尺寸大大降低,有助于减少后期生长的晶体中的缺陷密度,提高结晶质量.
為瞭研究錶麵狀態對晶體質量的影響,本文分彆採用腐蝕後拋光與未拋光的晶片作為籽晶,利用金相顯微鏡對所得晶體進行瞭顯微觀察,結果錶明:經過腐蝕後拋光的籽晶生長齣的晶體質量高于未拋光籽晶所得晶體；生長前耑的位錯呎吋以及數量小于未拋光籽晶,說明拋光去除瞭部分錶麵淺的缺陷腐蝕坑,同時減小深腐蝕坑的呎吋,使得籽晶生長錶麵的缺陷密度和呎吋大大降低,有助于減少後期生長的晶體中的缺陷密度,提高結晶質量.
위료연구표면상태대정체질량적영향,본문분별채용부식후포광여미포광적정편작위자정,이용금상현미경대소득정체진행료현미관찰,결과표명:경과부식후포광적자정생장출적정체질량고우미포광자정소득정체；생장전단적위착척촌이급수량소우미포광자정,설명포광거제료부분표면천적결함부식갱,동시감소심부식갱적척촌,사득자정생장표면적결함밀도화척촌대대강저,유조우감소후기생장적정체중적결함밀도,제고결정질량.
