传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2002年
3期
21-24
,共4页
莘海维%张志明%戴永斌%沈荷生
莘海維%張誌明%戴永斌%瀋荷生
신해유%장지명%대영빈%침하생
金刚石%压力传感器%灵敏度%优化设计
金剛石%壓力傳感器%靈敏度%優化設計
금강석%압력전감기%령민도%우화설계
介绍了一种新型金刚石高温压力传感器的优化设计方法.采用薄板弯曲理论研究了均匀载荷作用下多晶金刚石方膜在小挠度和大挠度下的应变分布情况.对设计时应当考虑的主要问题包括金刚石力敏电阻条的掺杂浓度,电桥的形式,电阻条在膜片上的分布以及电阻条的有效长度和形状等进行了讨论.利用模拟程序确定了力敏电阻条的最优有效长度,分析了敏感膜片厚度,方块电阻等因素对电阻条有效长度和输出响应的影响.
介紹瞭一種新型金剛石高溫壓力傳感器的優化設計方法.採用薄闆彎麯理論研究瞭均勻載荷作用下多晶金剛石方膜在小撓度和大撓度下的應變分佈情況.對設計時應噹攷慮的主要問題包括金剛石力敏電阻條的摻雜濃度,電橋的形式,電阻條在膜片上的分佈以及電阻條的有效長度和形狀等進行瞭討論.利用模擬程序確定瞭力敏電阻條的最優有效長度,分析瞭敏感膜片厚度,方塊電阻等因素對電阻條有效長度和輸齣響應的影響.
개소료일충신형금강석고온압력전감기적우화설계방법.채용박판만곡이론연구료균균재하작용하다정금강석방막재소뇨도화대뇨도하적응변분포정황.대설계시응당고필적주요문제포괄금강석력민전조조적참잡농도,전교적형식,전조조재막편상적분포이급전조조적유효장도화형상등진행료토론.이용모의정서학정료력민전조조적최우유효장도,분석료민감막편후도,방괴전조등인소대전조조유효장도화수출향응적영향.
