核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2004年
4期
247-250
,共4页
CVD金刚石%原位%反射率%软X光%透射率
CVD金剛石%原位%反射率%軟X光%透射率
CVD금강석%원위%반사솔%연X광%투사솔
通过反射率的原位测量和曲线拟合,研究了薄膜的生长过程并实时确定了它的光学性质.研究的结果与扫描电子显微镜(SEM)照片、X射线衍射(XRD)和α-step表面轮廓等非原位测试的结果符合良好.应用该研究成果,成功地制备了一种通光直径为4-8 mm的无依托超薄金刚石X光高透射率窗口.样品测试完毕后均完好无损,显示了其低吸收和抗高辐射的良好特性.
通過反射率的原位測量和麯線擬閤,研究瞭薄膜的生長過程併實時確定瞭它的光學性質.研究的結果與掃描電子顯微鏡(SEM)照片、X射線衍射(XRD)和α-step錶麵輪廓等非原位測試的結果符閤良好.應用該研究成果,成功地製備瞭一種通光直徑為4-8 mm的無依託超薄金剛石X光高透射率窗口.樣品測試完畢後均完好無損,顯示瞭其低吸收和抗高輻射的良好特性.
통과반사솔적원위측량화곡선의합,연구료박막적생장과정병실시학정료타적광학성질.연구적결과여소묘전자현미경(SEM)조편、X사선연사(XRD)화α-step표면륜곽등비원위측시적결과부합량호.응용해연구성과,성공지제비료일충통광직경위4-8 mm적무의탁초박금강석X광고투사솔창구.양품측시완필후균완호무손,현시료기저흡수화항고복사적량호특성.
