物理学报
物理學報
물이학보
2004年
5期
1588-1593
,共6页
反应磁控溅射%氟化类金刚石薄膜%拉曼光谱%红外吸收光谱
反應磁控濺射%氟化類金剛石薄膜%拉曼光譜%紅外吸收光譜
반응자공천사%불화류금강석박막%랍만광보%홍외흡수광보
以高纯石墨作靶、CHF3/Ar作源气体采用反应磁控溅射法制备了介电常数在1.77左右的氟化类金刚石(F-DLC)薄膜.拉曼光谱表明,源气体中CHF3相对流量、射频功率和工作气压的增加都会引起薄膜的D峰与G峰强度之比ID/IG减小,薄膜中链式(烯烃)结构比例的上升.红外吸收光谱分析表明薄膜的主体骨架仍为芳香环式结构.薄膜的性质如光学带隙和介电常数等不仅与氟含量有关,还与碳氟原子间的耦合形式和碳氟键的分布密切相关.
以高純石墨作靶、CHF3/Ar作源氣體採用反應磁控濺射法製備瞭介電常數在1.77左右的氟化類金剛石(F-DLC)薄膜.拉曼光譜錶明,源氣體中CHF3相對流量、射頻功率和工作氣壓的增加都會引起薄膜的D峰與G峰彊度之比ID/IG減小,薄膜中鏈式(烯烴)結構比例的上升.紅外吸收光譜分析錶明薄膜的主體骨架仍為芳香環式結構.薄膜的性質如光學帶隙和介電常數等不僅與氟含量有關,還與碳氟原子間的耦閤形式和碳氟鍵的分佈密切相關.
이고순석묵작파、CHF3/Ar작원기체채용반응자공천사법제비료개전상수재1.77좌우적불화류금강석(F-DLC)박막.랍만광보표명,원기체중CHF3상대류량、사빈공솔화공작기압적증가도회인기박막적D봉여G봉강도지비ID/IG감소,박막중련식(희경)결구비례적상승.홍외흡수광보분석표명박막적주체골가잉위방향배식결구.박막적성질여광학대극화개전상수등불부여불함량유관,환여탄불원자간적우합형식화탄불건적분포밀절상관.
