光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2005年
4期
487-490
,共4页
彭松%肖斌平%郝建奎%谢大弢
彭鬆%肖斌平%郝建奎%謝大弢
팽송%초빈평%학건규%사대도
磁控溅射%直流偏压二极溅射%氮化铌(NbN)%超导转变温度
磁控濺射%直流偏壓二極濺射%氮化鈮(NbN)%超導轉變溫度
자공천사%직류편압이겁천사%담화니(NbN)%초도전변온도
采用磁控溅射和直流偏压二极溅射两种方法制备了NbN薄膜. 用XRD和TEM测量比较了两种不同溅射方法获得的NbN薄膜的特点, 并测量了NbN薄膜的超导转变温度Tc. 采用两种溅射方法都得到了致密、均匀、单一δ相的多晶NbN薄膜, 薄膜生长的择优取向受温度和氮气流量的影响很大, 薄膜的超导转变温度受溅射室本底真空影响较大.
採用磁控濺射和直流偏壓二極濺射兩種方法製備瞭NbN薄膜. 用XRD和TEM測量比較瞭兩種不同濺射方法穫得的NbN薄膜的特點, 併測量瞭NbN薄膜的超導轉變溫度Tc. 採用兩種濺射方法都得到瞭緻密、均勻、單一δ相的多晶NbN薄膜, 薄膜生長的擇優取嚮受溫度和氮氣流量的影響很大, 薄膜的超導轉變溫度受濺射室本底真空影響較大.
채용자공천사화직류편압이겁천사량충방법제비료NbN박막. 용XRD화TEM측량비교료량충불동천사방법획득적NbN박막적특점, 병측량료NbN박막적초도전변온도Tc. 채용량충천사방법도득도료치밀、균균、단일δ상적다정NbN박막, 박막생장적택우취향수온도화담기류량적영향흔대, 박막적초도전변온도수천사실본저진공영향교대.
