真空
真空
진공
VACUUM
2006年
5期
50-52
,共3页
射频离子源%匹配网络%阻抗
射頻離子源%匹配網絡%阻抗
사빈리자원%필배망락%조항
介绍宽束射频离子源原理及结构,分析射频匹配网络中调谐和负载电容与输入频率、离子源电阻、传输线特征阻抗、支路电感的关系,导出了射频离子源阻抗公式.
介紹寬束射頻離子源原理及結構,分析射頻匹配網絡中調諧和負載電容與輸入頻率、離子源電阻、傳輸線特徵阻抗、支路電感的關繫,導齣瞭射頻離子源阻抗公式.
개소관속사빈리자원원리급결구,분석사빈필배망락중조해화부재전용여수입빈솔、리자원전조、전수선특정조항、지로전감적관계,도출료사빈리자원조항공식.
