无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2008年
2期
277-280
,共4页
江建军%马强%别少伟%杜刚%梁培%何华辉
江建軍%馬彊%彆少偉%杜剛%樑培%何華輝
강건군%마강%별소위%두강%량배%하화휘
CoFeB-SiO2%不连续多层膜%微波电磁特性%复磁导率
CoFeB-SiO2%不連續多層膜%微波電磁特性%複磁導率
CoFeB-SiO2%불련속다층막%미파전자특성%복자도솔
采用直流/射频磁控溅射方法和不连续多层交替溅射工艺,制备了CoFeB-SiO2系列纳米不连续多层磁性颗粒膜,并对制备的薄膜样品进行了不同温度下的退火处理.实验结果表明,通过调整SiO2绝缘介质相含量及磁场退火温度可有效地调控薄膜微结构和微波电磁特性.制备的薄膜样品在GHz微波频段同时具有高磁导率和高磁损耗,1.5GHz处薄膜复相对磁导率实部和虚部均大于260,同时电阻率高达1.38mΩ·cm.该薄膜样品可应用于微波吸收材料和抗电磁干扰的设计中.
採用直流/射頻磁控濺射方法和不連續多層交替濺射工藝,製備瞭CoFeB-SiO2繫列納米不連續多層磁性顆粒膜,併對製備的薄膜樣品進行瞭不同溫度下的退火處理.實驗結果錶明,通過調整SiO2絕緣介質相含量及磁場退火溫度可有效地調控薄膜微結構和微波電磁特性.製備的薄膜樣品在GHz微波頻段同時具有高磁導率和高磁損耗,1.5GHz處薄膜複相對磁導率實部和虛部均大于260,同時電阻率高達1.38mΩ·cm.該薄膜樣品可應用于微波吸收材料和抗電磁榦擾的設計中.
채용직류/사빈자공천사방법화불련속다층교체천사공예,제비료CoFeB-SiO2계렬납미불련속다층자성과립막,병대제비적박막양품진행료불동온도하적퇴화처리.실험결과표명,통과조정SiO2절연개질상함량급자장퇴화온도가유효지조공박막미결구화미파전자특성.제비적박막양품재GHz미파빈단동시구유고자도솔화고자손모,1.5GHz처박막복상대자도솔실부화허부균대우260,동시전조솔고체1.38mΩ·cm.해박막양품가응용우미파흡수재료화항전자간우적설계중.
